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LLC 高速リニアレンズチェンジャ

最大で8レンズ装着で高速レンズ切替えが可能です。

TFTアレイやフォトマスク検査・リペアなど、対物レンズ倍率切り替え頻度の高い工程に威力を発揮する、
高速対物レンズポジションチェンジャです。


LLC2 LLC3 LLC4
LLC2 LLC3 LLC4
  • #1→#6で0.5秒以下の高速レンズ切り替えを実現
  • レンズ位置精度 ±0.1µm以下
  • クラス100クリーンルーム対応
  LLC2 LLC4 LLC6 LLC8 LLC3+
Maximum Number of Lenses 2 4 6 8 See Below
Lens Spacing Center to Center 35mm 38mm 38mm 38 mm See Below
Lens Change Time
1-8       0.7s  
1-7       0.6s  
1-6     0.5s 0.5s  
1-5     0.4s 0.4s  
1-4   0.4s 0.4s 0.4s  
1-3   0.3s 0.3s 0.3s  
1-2 2s 0.2s 0.2s 0.2s  
Motor Type Stepper Motor Shaft Linear Motor
Motion Actuation
Implementation
Linear Actuator Fixed Forcer & Encoder Head
Encoder   Linear Encoder
Servo Type   Digitally Controlled Linear Servo
Servo Positioning Accuracy ±0.1µm
Positioning Repeatability ±3µm ±0.1µm
Bearings High Precision Cross-Roller
Recommended Controller MCX MFC
Weight Excluding Lenses 1.8kg 3.2kg 4.1kg 5.4kg See Below
Dimensions (L×W×H) mm 126×85×28 433×102×75 576×102×75  395×102×75 340×112×50
Supply Voltage 24V 48V
Peak Current 1A 2.5A
Compliance Clean Room Class 10 SEMI


Specifications for LLC3+ 3L Insert 4L Insert 3S Insert 5S Insert
Maximum Number of Lenses 3 4 3 5
Objective Lens Type Large Diameter (44mm) Large Diameter (44mm) Standard Standard
Objective Ring Light Illumination No No Yes No
Lens Spacing Center to Center 54.75mm 36.5mm 54.75mm 27.38mm
Lens Change Time
1-5       0.4s
1-4   0.4s   0.4s
1-3 0.4s 0.3s 0.4s 0.3s
1-2 0.2s 0.2s 0.2s 0.2s
Weight Excluding Lenses 1.6kg 1.6kg 1.6kg 1.6kg

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