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MIC4™
4波長Nd:YAGレーザ対応顕微鏡

MIC4 4波長Nd:YAGレーザ対応顕微鏡 TFTアレイリペアにおける、Nd:YAGレーザの4波長(266nm~1064nm)使用を可能にし、金属、シリコンおよび ITO薄膜ならびにオープンリペア修正など、あらゆる場面でのYAGレーザ4波長の有効活用を可能にします。

このMIC4は、ATF4、ATF5、LLC6などのWDI製品と完全互換で、TFTアレイのみにとどまらず、セル、モジュールリペア、カラーフィルタ検査、リペアに有効にご活用いただけます。

266、355、532、1064の全波長で80%以上の透過率を保証。観察系の画質への影響は最小に抑えられています。

  • Nd:YAGレーザ4波長対応
  • 透過率:>80% 全波長
  • クリアな観察像を可能にする観察光学系☆高速・高精度リニアレンズチェンジャー搭載
  • 高輝度白色LED搭載により薄膜層での高コントラスト像が可能
Optical Characteristics
Optical input ports In A YAG laser
(In B) Field light illuminator Standard internal WLED illuminator.
Optical port optional.
Optical bi-directionalports I/O A Auto-focus sensor
Optical output ports Out A Microscope objective
Out B Camera C-mount
Tube lenses YAG laser FL 200mm; Meniscus; UV grade
fused silica; 15 mm adjustment range
Camera FL 200mm; Achromat; Broad band multilayer
AR coated; 15 mm adjustment range
Beam-splitters BS2 Custom for notch YAG mirror
BS3 Custom optical band-pass filter;
670nm ±30nm; Reflectance
@670nm 99%; Transmission >90%
BS1 Dielectric beam-splitter(70%R-30%T)
Light transmission In A -> I/O A 1064nm 80 to 90%
532nm 80 to 90%
355nm 80 to 90%
266nm 80 to 90%
In B -> Out A ~30%
Out A -> Out B ~70%

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