４波長Nd:YAGレーザ対応顕微鏡 MIC4™
ＴＦＴアレイリペアにおける、Nd:YAGレーザの４波長（266nm～1064nm）使用を可能にし、金属、シリコンおよびＩＴＯ薄膜ならびにオープンリペア修正など、あらゆる場面でのＹＡＧレーザ４波長の有効活用を可能にします。
このＭＩＣ４は、ＡＴＦ４，ＡＴＦ５，ＬＬＣ６などのＷＤＩ製品と完全互換で、ＴＦＴアレイのみにとどまらず、セル、モジュールリペア、カラーフィルタ検査、リペアに有効にご活用いただけます。
266、355、532、1064の全波長で80％以上の透過率を保証。観察系の画質への影響は最小に抑えられています。
- Nd:YAGレーザ４波長対応
- 透過率：＞80％ 全波長
- クリアな観察像を可能にする観察光学系☆高速・高精度リニアレンズチェンジャー搭載
- 高輝度白色ＬＥＤ搭載により薄膜層での高コントラスト像が可能
| Optical Characteristics | |||
| Optical input ports | In A | YAG laser | |
| (In B) | Field light illuminator | Standard internal WLED illuminator. Optical port optional. |
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| Optical bi-directionalports | I/O A | Auto-focus sensor | |
| Optical output ports | Out A | Microscope objective | |
| Out B | Camera | C-mount | |
| Tube lenses | YAG laser | FL 200mm; Meniscus; UV grade fused silica; 15 mm adjustment range |
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| Camera | FL 200mm; Achromat; Broad band multilayer AR coated; 15 mm adjustment range |
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| Beam-splitters | BS2 | Custom for notch YAG mirror | |
| BS3 | Custom optical band-pass filter; 670nm ±30nm; Reflectance @670nm 99%; Transmission >90% |
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| BS1 | Dielectric beam-splitter(70%R-30%T) | ||
| Light transmission | In A -> I/O A | 1064nm 80 to 90% | |
| 532nm 80 to 90% | |||
| 355nm 80 to 90% | |||
| 266nm 80 to 90% | |||
| In B -> Out A | ～30% | ||
| Out A -> Out B | ～70% | ||
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