赤外線レーザスキャニング共焦点顕微鏡 LSCM
LSCMはコンパクトなサイズのIRの共焦点レーザ顕微鏡です。
赤外線を使用することにより、可視光では見えない内部をハイコントラストイメージで観察することができます。
- ハイコントラストの白黒イメージ
- 無限遠補正光学系で使用
- 標準波長は 1060、1300、1550nm
- 様々なアプリケーションに対応出来る柔軟なパラメータ設定
- コンパクトなサイズ：LSCM: 150×100×100mm、コントローラー: 167×60×129mm
- 軽量：LSCM: 2.2kg、コントローラー: 1.1kg
- 半導体デバイスのインスペクション
- LCD等の多層構造の観測
| Scanner to objective offset | 177mm | |
| Detector | Avalanche Photodetector | |
| Illumination | Laser diode | |
| Standard choices | 1060, 1300, 1550nm | |
| Other choices | between 700nm and 1550nm | |
| Laser class | IIIB | |
| Parameter | Value | Comment |
| Maximum IP Pixel Resolution | 1270 x 1000 pixel | user adjustable |
| Maximum Field of View | 1” CCD equivalent | (9.6 x 12.8mm) |
| 800µm diam.at 20X (Example) | 320µm diam. at 50X (Example) | |
| Object Plane Resolution | Diffraction limited | wavelength & NA dependent |
| Frame rate (user adjustable) | 10.7 fps | at 1270 x 1000 pixels (Max) |
| 19.8 fps (Example) | at 1270 x 480 pixels | |
| Line scan mode: line rate | 12 kHz | |
| speed (examples) | 29.5mm/s at 1270 pixels at 5X | 96mm/s at 400 pixels at 5X |
| 24 mm/s at 400 pixels at 20X | ||
- 赤外線レーザスキャニング共焦点顕微鏡 LSCM
1.08MB
シリコンウエハー表面から600um下の内部の配線パターンに移動した時のデモムービーです。
使用波長：1550nm
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