高速レーザオートフォーカス ATF6™
高速で、正確なフォーカスを実現するための高速フィードバック信号をフォーカシングサーボシステムに供給します。 レーザパターンがドットからラインになることによりフォーカス情報が増加したためフォーカス性能が向上しています。 そのためオフセットフォーカスや鏡面サンプルのみならず太陽電池パネル等の表面のざらざらしたサンプルにもフォーカスできます。
高速性- トラッキングモード： 0 sec
- 静止モード： 0.2 sec
- リフレッシュレート： 1kHz (オプション4kHz）
- 無限遠補正光学系に対応
- あらゆる表面状態、反射率(1%～99%)に対応
- 2倍～100倍の各種対物レンズ対応
- AOI対応高速トラッキングモード搭載
- オフセットフォーカス対応(DUV対物でのズレを補正可)
- 半導体ウエハーなど複雑なパターン
- 太陽電池パネル
- TFTのインスペクションやリペア
- フォトマスクのインスペクションやリペア
- レーザマイクロ・マシニング、MEMS等
- 有機ELインスペクション
| Reference Data | Units | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X |
| Depth of Focus | µm | ±14 | ±3.5 | ±1.6 | ±0.9 | ±0.6 |
| Focus Repeatability | µm | ±2.0 | ±0.5 | ±0.3 | ±0.2 | ±0.1 |
| Focus Accuracy | µm | ±6 | ±1.5 | ±1.0 | ±0.6 | ±0.3 |
| Resolution | µm | 1 | 0.5 | 0.2 | 0.02 | 0.05 |
| Linear Range | µm | -T/2 500 | ±250 | ±100 | ±30 | ±15 |
| Capture Range | µm | ±2500 | ±1000 | ±500 | ±250 | ±100 |
トラッキングモード： 0secってどういうことですか？
フォーカスが合った状態であればZステージが上下しても追従して、常にフォーカスを維持します。(Z軸モーター動性能範囲内で)
ATF5とATF6の違いって何ですか？
ATF5はTFT向けに特化したオートフォーカスでレーザドットをグレーティングで分裂させてマルチドットとして使用しています。 分解能(スペック表 Resolution)はATF6よりやや上になっております。アプリケーションはおもにTFTアレー、フォトマスクのインスペクションやリペアになります。ATF6はレーザパターンがマルチドットからラインになることによりフォーカス情報が増加したためオフセットフォーカス(DUV対物に有効)や鏡面サンプルのみならず太陽電池パネル等の表面のざらざらしたサンプルにもフォーカスできます。リフレッシュレートは1000Hz(最大4000Hz)とATF5の倍で駆動します。アプリケーションはTFTのインスペクションやリペアに加えパターンド半導体、太陽電池パネル 、有機EL、レーザマイクロ・マシニング、MEMS等の多彩な分野で利用できます。
- 高速レーザオートフォーカス ATF6
2.13MB - ATF6 information short version130KB
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