トラッキングオートフォーカス ATF4™
ATF-４は、ハイスループットを要求される現代の液晶製造・検査・リペア装置に欠かせない、高速・高精度トラッキングを提供します。世界有数の液晶検査・リペア装置に搭されその性能は実証済みです。
対象物との距離を常にベストフォーカス位置に保つ機構により、原理的にはゼロフォーカスタイムの、理想的なトラッキングを実現しました。
カメラ、フレームグラバボード不要で、コンパクト・軽量です。
| Microscope Lens | VIS | VIS | VIS NIR |
NIR NUV UV |
UV | VIS |
| Magnification | 5X | 10X | 20X | 50X | 80X | 100X |
| Focus Repeatability | ±2 | ±0.5 | ±0.3 | ±0.2 | ±0.15 | ±0.1µm |
| Focus Accuracy | ±6 | ±1.5 | ±1 | ±0.6 | ±0.4 | ±0.3µm |
| Resolution | 1 | 0.5 | 0.2 | 0.1 | 0.06 | 0.05µm |
| Capture Range | -T/2 +2500 | -T/2 +1000 | -T/2 +500 | -T/2 +250 | ±100 | ±100µm |
| Linear Range | -T/2 +500 | ±250 | ±100 | ±50 | ±20 | ±20µm |
*T = LCD glass thickness
- トラッキングオートフォーカス ATF4™
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