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ATF6 SWIFT
高速レーザオートフォーカス

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ATF6 SWIFTはハイスピードトラッキングが必要とされるパターンドウエハー、CVD、TFT、フォトマスク等の検査用途に最適なトラッキングオートフォーカスユニットです。レーザは510nm、660nm、785nm から選択可能です。

レーザパターンがドットからラインになることにより、フォーカス情報が増加したためフォーカス性能が向上しています。そのためオフセットフォーカスや鏡面サンプルのみならず、太陽電池パネル等の表 面のざらざらしたサンプルにもフォーカスできます。

また、高速で正確なフォーカスを実現するための高速フィードバック信号をフォーカシングサーボシステムに供給します。

  • 高速性
    • トラッキングモード:0 sec
    • 静止モード:0.2 sec
  • リフレッシュレート:1kHz (オプション4kHz)
  • 無限遠補正光学系に対応
  • あらゆる表面状態、反射率(1%~99%)に対応
  • 2倍~100倍の各種対物レンズ対応

 - 膜厚測定機能オプション
 - AOI対応高速トラッキングモード搭載

  • 半導体ウエハーなど複雑なパターン
  • 太陽電池パネル
  • TFTのインスペクションやリペア
  • フォトマスクのインスペクションやリペア
  • レーザマイクロ・マシニング、MEMS等
  • 有機ELインスペクション
ATF6 SWIFT Sensor
Structured Light Pattern  Line Segment
Sensor Wavelength  Choice of 510nm, 660nm or 785nm
Image Detector  Area Scan CMOS
Internal Update Rate 20kHz
Static Autofocus Accuracy ± 1/4 Objective Depth of Focus
Fast Tracking Autofocus Accuracy ± 1/2 Objective Depth of Focus

General Performance 
Output Data Rate 6.5kHz
Reflectivity Adaption Delay  1ms 
Laser Type  Semiconductor 
Laser Safety  Class 2 510, 660, 785nm
Weight  250g 
Dimensions  40 X 40 X 120mm 
Maximum Cable Length  1.8m  
Compliance  CE SEMI 

External Requirements
Specimen Reflectivity  1% ~ 99% 
Glass Thickness  > 0.5mm 
Diffusing Specimen  Yes 
Specular Specimen  Yes 
Patterned Specimen  Yes 
Textured Specimen  Yes 

Operating Specifications
Input Voltage  18V ~ 25V, 24V Nominal 
Operating Temperature  18°C ~ 35°C 
Storage Temperature  10°C ~ 44°C 
Humidity  10% ~ 75% Non Condensing

図面

質問をクリックすると回答がご覧になれます。

トラッキングモード: 0secってどういうことですか?
フォーカスが合った状態であればZステージが上下しても追従して、常にフォーカスを維持します。(Z軸モータ動性能範囲内で)
ATF5とATF6の違いって何ですか?
ATF5はTFT向けに特化したオートフォーカスでレーザドットをグレーティングで分裂させてマルチドットとして使用しています。 分解能 (スペック表 Resolution) はATF6よりやや上になっております。アプリケーションはおもにTFTアレー、フォトマスクのインスペクションやリペアになります。ATF6はレーザパターンがマルチドットからラインになることによりフォーカス情報が増加したためオフセットフォーカス (DUV対物に有効) や鏡面サンプルのみならず太陽電池パネル等の表面のざらざらしたサンプルにもフォーカスできます。リフレッシュレートは1000Hz (最大4000Hz) とATF5の倍で駆動します。アプリケーションはTFTのインスペクションやリペアに加えパターンド半導体、太陽電池パネル 、有機EL、レーザマイクロ・マシニング、MEMS等の多彩な分野で利用できます。

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