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ATF5 高速レーザオートフォーカス

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高速で、正確なフォーカスを実現するための高速フィードバック信号をフォーカシングサーボシステムに供給します。

マルチドットと独自のアルゴリズムにより、TFTアレイ・フォトマスクなどのパターン性のマテリアル面におけるフォーカシングの正確性、信頼性を向上します。

  • 高速性
    • トラッキングモード:0 sec
    • 静止モード:0.2 sec
  • 無限遠補正光学系に対応
  • あらゆる表面状態に対応
    • ベアガラス
    • フォトマスク
    • TFTアレイ
    • 太陽電池パネル
  • 2倍~100倍の各種対物レンズ対応

 - 膜厚測定機能オプション
 - AOI対応高速トラッキングモード搭載

  • TFT Array inspection/repair
  • Cell/Module inspection/repair- Photo
  • Lithography mask inspection
  • PCB inspection
ATF5 Sensor
Structured Light Pattern  Seven Dots
Sensor Wavelength  Choice of 660nm or 785nm
Image Detector  Line Scan CMOS
Autofocus Update Rate 20kHz
Static Autofocus Accuracy ± 1/4 Objective Depth of Focus
Fast Tracking Autofocus Accuracy ± 1/2 Objective Depth of Focus

General Performance 
Output Data Rate 1.7kHz in tracking mode
Reflectivity Adaption Delay  2ms 
Laser Type  Semiconductor 
Laser Safety  Class 2
Weight  250g 
Dimensions  40 X 40 X 120mm 
Maximum Cable Length  1.8m  
Compliance  CE SEMI 

External Requirements
Specimen Reflectivity  1% ~ 99% 
Glass Thickness  > 0.5mm 
Diffusing Specimen  Yes 
Specular Specimen  Yes 
Patterned Specimen  Yes 
Textured Specimen  Yes 

Operating Specifications
Input Voltage  18V ~ 25V, 24V Nominal 
Operating Temperature  18°C ~ 35°C 
Storage Temperature  10°C ~ 45°C 
Humidity  10% ~ 75% Non Condensing

図面

質問をクリックすると回答がご覧になれます。

トラッキングモード: 0secってどういうことですか?
フォーカスが合った状態であればZステージが上下しても追従して、常にフォーカスを維持します。(Z軸モータ動性能範囲内で)
ATF5とATF6の違いって何ですか?
ATF5はTFT向けに特化したオートフォーカスでレーザドットをグレーティングで分裂させてマルチドットとして使用しています。 分解能(スペック表 Resolution)はATF6よりやや上になっております。アプリケーションはおもにTFTアレー、フォトマスクのインスペクションやリペアになります。ATF6はレーザパターンがマルチドットからラインになることによりフォーカス情報が増加したためオフセットフォーカス(DUV対物に有効)や鏡面サンプルのみならず太陽電池パネル等の表面のざらざらしたサンプルにもフォーカスできます。リフレッシュレートは1000Hz(最大4000Hz)とATF5の倍で駆動します。アプリケーションはTFTのインスペクションやリペアに加えパターンド半導体、太陽電池パネル 、有機EL、レーザマイクロ・マシニング、MEMS等の多彩な分野で利用できます。

対物50倍

  • z方向にサンプルを指で持ち上げフォーカスをずらして回復 (0~3秒)
  • サンプルのエッジからはずれてフォーカスを失うも戻ると即座にフォーカス回復 (7秒あたり)
  • 平面方向に高速移動でフォーカス追従、パターン依存性が低いことが確認できます (全体:オートフォーカスOFF時はピントが徐々に外れます)

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