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ATF4 トラッキングオートフォーカス

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ATF4は、ハイスループットを要求される現代の液晶製造・検査・リペア装置に欠かせない、高速・高精度トラッキングを提供します。世界有数の液晶検査・リペア装置に搭されその性能は実証済みです。

対象物との距離を常にベストフォーカス位置に保つ機構により、原理的にはゼロフォーカスタイムの、理想的なトラッキングを実現しました。

カメラ、フレームグラバボード不要で、コンパクト・軽量です。

ATF4 Sensor
Structured Light Pattern  Single Dot 
Sensor Wavelength  Choice of 660nm, 785nm or 850nm
Image Detector  Line Scan CMOS
Static Autofocus Accuracy  ± 1/4 Objective Depth of Focus
Fast Tracking Autofocus Accuracy ± 1/2 Objective Depth of Focus

General Performance 
Reflectivity Adaption Delay  1ms 
Laser Type  Semiconductor 
Laser Safety  Class 2 
Weight  250g 
Dimensions  40 X 40 X 120mm 
Maximum Cable Length  1.8m  
Compliance  CE SEMI 

External Requirements
Specimen Reflectivity  1% ~ 99% 
Glass Thickness  > 0.5mm 
Diffusing Specimen  No
Specular Specimen  Yes 
Patterned Specimen  No
Textured Specimen  No

Operating Specifications
Input Voltage  18V ~ 25V, 24V Nominal 
Operating Temperature  18°C ~ 35°C 
Storage Temperature  10°C ~ 45°C 
Humidity  10% ~ 75% Non Condensing

図面

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