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IRLC 赤外レーザ走査型共焦点顕微鏡

赤外レーザ走査型共焦点顕微鏡 IRLC


目に見えない表面下の欠陥検査に

マイクロクラック、マイクロボイド(微細空孔)のような、目に見えない表面下の欠陥や製造上の欠陥は見過ごされることが多いです。
製造中の高濃度でのドーピングは、ウエハやチップパッケージの非破壊検査/観察を非常に難しくします。
近赤外(NIR)または赤外(IR)光源を使った、スタンダードな広域検査ツールは存在しまが、これらのシステムでは深く浸透させることができず、特定のフォーカス面で選択的に画像化することしかできません。

シリコン内部の検査を実現する近赤外共焦点顕微鏡

パワフルな近赤外レーザとスキャニング共焦点顕微鏡を組み合わせることにより、従来の広域IR顕微鏡システムに、更にいくつかのユニークな利点が生まれました。
まずは、透明や半透明サンプルの表面下の薄い部分または光学切片の高分解能画像の作成です。
また、このシステム構成により、ターゲットへのより深い浸透、より高い分解能、高速画像収集にもつながります。

ブラックマトリックス下のトランジスタ構造を映し出すTFTアレイの20X NIR共焦点画像     ブラックマトリック下に隠れた、トランジスタを持つ (TFT) アレイの20X明視野画像
ブラックマトリック下に隠れた、トランジスタを持つ (TFT) アレイの20X明視野画像     ブラックマトリックス下のトランジスタ構造を映し出すTFTアレイの20X NIR共焦点画像

フォーカスしたままワンクリックで継続的デュアル観測

IRLCには、カラーCMOSカメラと明視野イメージングのためのLED照明システムが含まれ、オペレータが目的とするエリアをすばやく捉えることができます。
表面検査用システムは、近赤外レーザとスキャニング共焦点顕微鏡を搭載しています。
この組み合わせで、サンプルの表面下800µmまでのより深い画像化が可能です。
ワンクリックでこの観察方法を切り替えられます。
IRLCは、WDIのオートフォーカス6センサ (ATF6)、光学オフセットアジャスタ (OOA) と 速Z軸アクチュエータ (ZAA) 技術を使用し、観測方法や表面計測の変化に関わらず一定のフォーカスにとどまります。


リニアXY測定と高度な画像取得が可能

ソフトウエア内の測定タブで、リニアXY「点から点」と「点から多点」測定が可能です。
測定は、ソフトウエア内に表形式で記録および保存され、分析用に .csvでエクスポートもできます。
システムには、高度な画像取得オプションがあり、フレームの平均化、平均化された画像、最大Z投影デルタZオーバーレイおよび2点画像シーケントキャプチャ間の一画像シーケンスの取得などができます。


検査ルーチンの完全自動化

IRLCに統合されたモータリゼーション、オートフォーカスを自動化コントロールソフトウエアと組み合わせることにより、完全自動化検査ルーチンをおこなうよう設定することができます。
簡単かつ直感的なユーザーインターフェイスを通し、ROI、倍率、深さや照明の輝度設定などの様々な個々の位置パラメータを定義できます。
これらのルーチンは、複数サンプルに対して実行可能で、検査プロセスの完全自動化を実現します。


高スループット検査用レシピの作成

IRLCは、ウエハやICストリップとトレーパッケージ両方の完全検査レシピの作成と実行をおこなうことができます。ウエハ、トレーまたはストリップとICパラメータの定義は、画像インターフェイスを通して簡単にできます。
コーナー検出機能はアライメントに関係なく、IC位置登録を自動化します。
一度レシピが作成されると、レシピは他の個々のサンプル、またはトレー全体やデバイスのストリップに対して実行され、検査の精度や信頼性や全体のより良い効率を確証します。

System Class Class 1
Observation Methods Scanning Laser Confocal
Conventional Bright Field
Lens Changer Motorized Turret 6 Lens Capacity
Objective 5X, 10X, 20X, 50X, 100X 20X, 50X, 100X with
Correction Collar
Manual Z Stage Jack Stroke 75mm
Motorized Z Actuator Type 1/32 Stepper Moto
Travel 10mm
Resolution 0.157µm
Maximum Speed 10mm/sec
Maximum Load 3.5kg
Motorized XY Stage Type XY Linear Encoder Stepper
Motor
Travel 305mm X 305mm
Resolution 0.1µm
Maximum Speed 120mm/sec
Accuracy 6µm/300mm
Repeatability 1µm
Maximum Load 750g
Autofocus Structured Light Patter Line Segmen
Sensor Wavelength 658nm
Image Detector Area Scan CMOS
Motorized OOA Depth Range 0 to 800µm
Brightfield Illumination Type Super Bright White LED
Brightfield CMOS
Camera
Size 1/2 Inch 2MP CMOS
Resolution 1600 X 1200
Frame Rate 10 FPS Full Resolution
Bit Depth 10 Bits
Pixel Size 4.2µm X 4.2µm
Confocal Illumination Type Single Mode Laser Diode
Maximum Laser Power 300mW
Wavelength 1100nm ~ 1350nm
Typical Spectral Width 5nm
Confocal Photodetector Spectral Response Range 900nm ~ 1700nm
Resolution 950 X 950
Bit Depth 10 Bits
Pixel Size 7.5µm
Electrical Requirements 3 Separate AC 100-240V, 50/60Hz,
Single Phase
Ampere Requirements 13.0A Total System
Operating Temperature 10°C ~ 30°C Ambient
Operating Humidity < 70% Non Condensing
Weight 182kg Main Unit

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