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トラッキングオートフォーカス

世界有数の液晶検査・リペア装置に搭載されている、
高精度トラッキングオートフォーカスユニットです。

長年の液晶検査・リペア分野での経験により、ハイスループットを要求される
現代の液晶製造・検査・リペア装置に欠かせない、高速トラッキング性能を実現しました。

対象物との距離を常にベストフォーカス位置に保つ機構により、
原理的には、ゼロフォーカスタイムの理想的なトラッキングを提供しています。
カメラ、フレームグラバボードが不要で、コンパクトで軽量なユニットです。

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