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CF, KF, ISO用 ビューイングポート
(覗き窓)

CF, KF, ISO用ビューイングポート(覗き窓

VACOM社のスタンダードビューイングポートはホウケイ酸ガラスとが合成石英ガラスからできています。取り外し可能なOリングシール付きビューイングポートは高真空のご用途や150℃までの温度下での使用に適しています。

VACOM社では最も一般的なCF, KF, ISOのフランジサイズ対応はもちろん、より手軽に素早く真空チャンバーにアクセスできるQAD (quick access doors) にも対応しています。

さらにスタンダードビューイングポートは、取り付けが素早くできるガラスウィンドウ一体型のQuick CFバージョンも用意しています。

特長

  • ホウケイ酸ガラスと合成石英ガラス(Borofloat® 33 または Silux®)
  • 簡単な取り付けと取り外し
  • リーク率:< 1・10-9 mbar l/s
  • 最大耐熱:150℃(アルミニウムフレームは120℃)
  • 必要に応じてAR(反射防止)コーティング可能

仕様

Order code   Flange   A L2 
Borosilicate  Quartz   
Flange connection: KF, T(max) = 150 °C  
VPKF40B-E-Z  VPKF40Q-E-Z  DN40KF  57 10 40 3,8 
VPKF50B-E-Z  VPKF50Q-E-Z  DN50KF  77 10 50 3,8 
Flange connection: ISO-K (flange mounting with clamps), T(max) = 150°C  
VPISOK63B-E-Z  VPISOK63Q-E-Z  DN63ISO-K  98 70 14 3,8 
VPISOK100B-E-Z  VPISOK100Q-E-Z  DN100ISO-K  133 102 13 5
VPISOK160B-E-Z  VPISOK160Q-E-Z  DN160ISO-K  183 153 17 9
VPISOK200B-E-Z  VPISOK200Q-E-Z  DN200ISO-K  243 200 17 13
Flange connection: ISO-F (wall mounting with screws), T(max) = 120°C  
VPISOF63B-E  VPISOF63Q-E  DN63ISO-F  130 70 12 3,8 
VPISOF100B-E  VPISOF100Q-E  DN100ISO-F  165 102 12 5
VPISOF160B-E  VPISOF160Q-E  DN160ISO-F  225 153 16 9
VPISOF200B-E  VPISOF200Q-E  DN200ISO-F  285 200 16 13
Flange connection: ISO-K (wall mounting with claw clamps), T(max) = 150°C  
VPISOK63B-E  VPISOK63Q-E  DN63ISO-K  98 70 12 3,8 
VPISOK100B-E  VPISOK100Q-E  DN100ISO-K  133 102 12 5
VPISOK160B-E  VPISOK160Q-E  DN160ISO-K  183 153 15 9
VPISOK200B-E  VPISOK200Q-E  DN200ISO-K  243 200 19 13
  • Option: KF and ISO-K flange made of stainless steel 316L

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