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非接触3次元表面形状・粗さ測定

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    PRIMA

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    PRIMA

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    Optima+

クロマティックコンフォーカルセンサ方式の非接触表面形状測定システムです。

システム本体内にある白色光源は、測定プローブを通る際に分光され、波長毎の異なる距離に焦点を結ぶ測定光へと変換されます。

連続的に異なる焦点位置を持つ分光された測定光は、測定対象の表面で反射し機器内部に戻ります。

この反射光の波長は、測定プローブからサンプルまでの距離に応じた波長ですので、機器内部の分光器で距離情報へと変換されます。

  • メカ的な可動部品なし
  • 測定プローブはアプリケーションに合わせて自由に選択できます。
  • 高速測定
  • 表面形状測定
  • 粗さ、厚み、ギャップ

“コントローラ” と “測定プローブ” の組み合わせとなります。

コントローラ
  PRIMA OPTIMA+
測定周波数 ~ 2 kHz ~ 10 kHz
プローブチャンネル 1 ch / 2 ch(スイッチ) 1 ch
インターフェース RS232C, USB
I / O アナログ出力、トリガ In / Out
測定プローブ
  CL4MG35 CL5MG35 CLMG35
測定範囲 (M.R) - Z軸 4 mm 12 mm 24 mm
デッドゾーン (W.D) 16.2 mm 25.9 mm 21.5 mm
傾斜測定 ± 21° ± 14° ± 8.5°
スポット径 13.4 µm 27.2 µm 32.7 µm
       
距離測定 - 精度 300 nm 750 nm 1.6 um
厚み測定 - 最小 110 µm 350 µm 590 µm
     - 最大 5.7 mm 16.5 mm 34 mm

プローブ

波長により異なる焦点を結ぶように設計されたレンズに
白色光を通すことで、サンプルで反射した光が異なる位置で
結像される光学系となります。

サンプルの位置情報(深さ情報)は、分光器により観測された
反射光の波長から読み取ることができます。


原理

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