更新日 2009/06/05
スターテックインスツルメンツ社(米国)は、独自の特許技術による紫外レーザ用パワーメーターを製造しています。 蛍光式により、パワーメーターとしては極めてローパワーの測定からハイパワーの測定までが可能です。 また、ビームラインに挿入してパワーを測定する透過型紫外領域の157nm、193nm向けを得意としています。
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