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レーザ干渉法による精密測定機器

SIOS Meßtechnik GmbH社は、レーザ干渉法による精密測定機器の専門メーカーで、長さ・角度・重量・力・圧力・振動を測定する測定デバイスや測定機器を開発・製造しております。

超高精度レーザ干渉測長プローブ

超高精度レーザ干渉測長プローブ波長安定化He-Neレーザを光源としたレーザ干渉法により、20mm/50mmの測長レンジでありながら、1nmの高精度測定を実現しました。

レーザ干渉式顕微振動解析装置

レーザ干渉式顕微振動解析装置ファイバ導光式レーザ干渉振動計と顕微鏡を組合せることで、MEMSなどの動特性の測定に適した振動解析装置です。

レーザ干渉式振動計

レーザ干渉式振動計レーザ干渉法による振動計で、測定レンジは±20mm、測定周波数レンジは、0～ 500kHzです。

波長安定化He-Neレーザ

波長精度 632.9914±0.0003nmの高精度波長安定化He-Neレーザウォームアップ時間も10分以内です。

各種レーザ干渉用デバイス

各種レーザ干渉用デバイス写真は同時にピッチング、ヨーイング、距離を測定できる3ビームタイプのレーザ干渉計です。