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SP 15000 C シリーズ
5 DOF キャリブレーション用干渉計

  • SP 15000 C シリーズ

  • 構成

  • Sensor head

  • Reflector unit

  • Straightness mirror

  • Deflection unit

SP 15000 Cは、最大4ビームに分けられた測定光をターゲットに照射し、長さ、ピッチング、ヨーイング、平坦度を高精度に測定する干渉計パッケージです。

長尺で使用できる本パッケージは、高い精度を求められる精密機材の組上げや、精密工作機器内の精密位置検出などに使用になれます。

  • Calibration of higth-precision axes in measuring and machine tools, as well as coordinate measuring instruments
  • Laserinterferometric measurements on guides and translation stages
  • Ultraprecise simultaneous length and angle measurements
  • Differential measurements
Model    SP 15000 C3  SP 15000 C5
Length measurement: Measuring range Resolution m
nm
15
< 0.1
15
< 0.1
Angle
measurement:
Measuring ranges of pitch and
yaw angles
Resolution

grad
arcsec

± 5
< 0.01

± 5
< 0.01
Straightness
measurement:
Measuring range
Resolution
Axial range (freely selectable)
mm
nm
m
-
-
-
± 4
10
6.5
Beam distances (horizontal and vertical) mm 50
Maximum displacement speed of the measuring reflector mm/s 500
Wavelength of the HeNe laser nm 632.8
Frequency stability of the HeNe laser
(after warm-up time)
  2 . 10-8
HeNe laser warm-up time min < 20
Operating temperature range °C  15~30
Dimensions (LxWxH)
 Sensor head with adjustable mount
 Reflector unit / Straightness mirror
 Electronic supply and evaluation unit

mm
mm
mm

192x192x122
104x56x104 / -
450x400x150

192x192x122
104x62x104 / 234x43x49
450x400x150
Mass
 Sensor head with adjustable mount
 Reflector unit / Straightness mirror
 Electronic supply and evaluation unit

kg
kg
kg

3.2
0.8 / -
9.5

3.2
0.85 / 0.85
9.5
Cable length between sensor head and electronic
module (separable)
m 6, optionally up to 10
Line voltage / frequency VAC/Hz 100~240 / 47~60
Laser safety class according to EN 60825-1/ANSI Z136.1
(CDRH)
  2M / II

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