非接触型干渉計

Interfire 3.5 中赤外干渉計（3.39μm）

Interfire 10.6 遠赤外干渉計（10.6μm）

インターロック付He-Neレーザ（3.39μm）､又はCO₂レーザを使用し赤外線システム､サブアセンブリコンポーネントの正確な計測が可能です。

サーマルイメージングレンズ波面収差測定､赤外材料（Ge, Si, ZnSe, Znsなど）の均一性、面精度を測定できます。

外部にマッハツェンダー型干渉計（オプション）を設置することにより、波面ひずみの測定が可能です。