非接触型干渉計
遠赤外干渉計 10.6µm
1.32MB
- Interfire 3.5 中赤外干渉計（3.39µm）
- Interfire 10.6 遠赤外干渉計（10.6µm）
インターロック付He-Neレーザ（3.39µm）､又はCO2 レーザを使用し赤外線システム､サブアセンブリコンポーネントの正確な計測が可能です。
サーマルイメージングレンズ波面収差測定､赤外材料（Ge, Si, ZnSe, Znsなど）の均一性、面精度を測定できます。
外部にマッハツェンダー型干渉計（オプション）を設置することにより、波面ひずみの測定が可能です。
