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非接触型干渉計

Interfire 3.5 中赤外干渉計(3.39µm)
Interfire 10.6 遠赤外干渉計(10.6µm)

非接触型干渉計

インターロック付He-Neレーザ(3.39µm)、又はCO2 レーザを使用し赤外線システム、サブアセンブリコンポーネントの正確な計測が可能です。

サーマルイメージングレンズ波面収差測定、赤外材料(Ge, Si, ZnSe, Znsなど)の均一性、面精度を測定できます。

外部にマッハツェンダー型干渉計(オプション)を設置することにより、波面ひずみの測定が可能です。


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