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高分解能波面センサ SID4

高分解能 波面センサ SID4

高分解能波面センサ “SID4”は、PHASICS社の独自開発した技術* を用いた「高分化能」波面センサです。

従来のシャックハルトマン型では困難であったコリメート光以外の入射ビームの直接測定を可能とし、また波長の依存性がない為、紫外から赤外までご用途に応じた測定が可能です。

* 4 wave Lateral Shearing Interferometry


特長

  • 測定にリレーレンズ必要なし
  • 圧倒的な高空間分解能
  • 完全な波長無依存性
  • 大きな収差も測定可能

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SID4 波面センサの圧倒的なアドバンテージ


1. 測定にリレーレンズ必要なし

測定に リレーレンズ必要なし

シャックハルトマン波面センサは、その構造上の欠陥から、測定光は並行光(コリメート光)に限られていました。リレーレンズでビームを並行光にしてセンサに入射すると、リレーレンズの光学特性も測定値に載ってしまうので、大きなエラーを含む測定値となってしまうのが常でした。

Phasics社の SID4 は、従来の波面センサとは測定方法が異なるので、“広がりを持ったままの光”“絞られている光” でも、そのまま測定することができます。
リレーレンズなしでビームの波面を直接観察できるのは、Phasics社の SID4 だけです。


2. 圧倒的な高空間分解能

圧倒的な 高空間分解能

これまでの波面センサは、内部に使用しているマイクロレンズアレイの “数”、“ピッチ”、さらにマイクロレンズアレイにより分割されるビーム1本ずつに多くの画素を割り当てるので測定できる空間分解能に大きな影響を与えていました。
SID4 は、CCD画素上に現れる微細な干渉縞の強度分布を観察することで波面測定を行うので、
前述にある空間分解能を制限する弊害はありません。
一般的には、SID4 は、シャックハルトマン型波面センサに比べて約4倍の高空間分解能を実現しています。


3. 完全な波長無依存性

SID4 は、内蔵の改良型ハルトマンセンサにより生み出される回折現象と干渉現象を利用し、CCD上に見られる干渉縞の強度を波面測定に使用します。
この二つの現象を組み合わせると波長による影響は完全に相殺する関係となりますので、
異なる波長による測定の影響は一切ありません。
完全な波長無依存性能を持ちます。


4. 大きな収差も測定可能

シャックハルトマン型や干渉計を使用したシステムの場合、2λ (rms) を超える大きな収差の測定ではNullレンズが必要でした。SID4は、この限界を取り除くことに成功。
ヌルレンズなしで50µm以上の球面収差も測定できます。
仮に λ=500nmの時、実に100λ以上の球面収差も測定ができることを意味しています。

SID4は、マイクロレンズアレイの代わりに、回折を起こさせる改良型ハルトマンマスクをCCDカメラの全面に搭載した構造となっています。
入射したビームは、マスク透過後に4方向にわずかに回折を起こしそれぞれが干渉しメッシュ状の干渉縞イメージを形成します。
その干渉縞イメージの強度分布をCCDで観測します。
この干渉縞イメージは 波面の傾きにより変形するので、干渉縞イメージの変形を解析することで波面測定を行います。

実際には、この干渉縞イメージ解析の過程で、強度マップ、位相マップを同時に取得できるので、他アプリケーションソフトウェアと組み合わせることで、入射ビームの波面測定、オプティクスの特性評価、補償光学 (AO Loop)、プラズマ+ガスジェットのイメージ化などにも応用が可能です。

測定原理

HIGH RESOLUTION WAVEFRONT SENSORS
FROM UV TO FAR IR

SID4 UV HR SID4 UV SID4 SID4 HR SID4 NIR SID4 SWIR SID4 IR MCT SID4 DWIR
190-400nm 250-400nm 400-1100nm 400-1100nm 1.5-1.6µm 04.-1.7µm 1.2-5.5µm 3-5 & 8-14µm
  型番 波長 データシート

UV

SID4 UV-HR 190 ~ 400 nm PDF291KB
SID4 UV 250 ~ 400 nm PDF358KB

Visible

SID4 400 ~ 1100 nm PDF1.0MB
SID4 HR 400 ~ 1100 nm PDF1.0MB

Infrared

SID4 NIR 1.5 ~ 1.6 µm PDF129KB
SID4 SWIR 0.4 ~ 1.7 µm PDF236KB
SID4 IR-MCT 1.2 ~ 5.5 µm PDF520KB
SID4 DWIR 3 ~ 5 µm & 8 ~ 14 µm PDF877KB

アクセサリ


R-Cube R-Cube コリメート光モジュール

 

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