HOME取扱製品オプトメカニクス真空部品Oxford Applied Research

Oxford Applied Research

TCシリーズ サーマルガスクラッカ

サーマルガスクラッカ TCシリーズ拡大

TCシリーズ サーマルガスクラッカは、電子ビーム加熱技術を利用し、ガス分子を低パワー(<60W)で効率よく解離します。

直接水冷することにより、常に30℃以上になるのは、フィラメントとクラッキングチューブだけなので、極めてクリーンなオペレーションとコンタミなしを可能にします。

TCシリーズサーマルガスクラッカーは、ガスラインに直接接続されている細い口径のイナートクラッカーチューブを組み込んでいるのでガス負担を制限し、非常に低い流量レートで高効率解離を供給します。

  • 高い解離効率
  • 超クリーンオペレーション
  • 非常に低いパワー(<60W)
  • バックアップフィラメント標準装備
  • 低メンテナンス
  • “ソフト”基板クリーニング
  • 酸化物、窒化物
  • 表面活性
  • ゼロダメージ水素クリーニング
  • H、Cl、Brによるエッチング
  • H2、O2、ハイドライド、ハロゲン、HCs、NH3
Model TC50*
Mounting NW35CF
In-vacuum diameter 34 mm
In-vacuum length 200 mm (standard)
Cracker temp. 1000 ℃
Max. Power 60 W
Services Water (0.5 litres/min. <20℃)
Power supply Single phase 110/220 V AC
Gas flow rate  <0.5 sccm
Filaments  Two ThO2-coated (one spare)
Options
  • Remote computer-operated gas doser valve with RS232 interface
  • Shutter – manual or remote

* A Technical Note on the TC50 and its applications is available on request.

製品に関するお問い合わせフォーム

フォームが表示されるまでしばらくお待ち下さい。

恐れ入りますが、しばらくお待ちいただいてもフォームが表示されない場合は、こちらまでお問い合わせください。


製品一覧へ戻る Oxford Applied Research社の製品一覧へ戻る