HOME取扱製品オプトメカニクス真空部品Oxford Applied Research

EGシリーズ ミニe-ビームエバポレータ

UHV環境下での極薄膜作製に最適

ミニe-ビームエバポレータ EGシリーズ拡大

EGシリーズ ミニe­ビームエバポレータは、超高純度膜の作製に利用されています。蒸着レートは、高度な制御が可能で多くの材料に対して 0.1Å/min~50Å/min の範囲でコントロールができます。

このミニe­ビームエバポレータ EGシリーズは、1ポケットと4ポケットのタイプがあり、4ポケットタイプには、それぞれ独立した制御が可能な EGN4 と最高4つの材料の同時蒸着が可能な EGCO4 があります。

コンタミネーションの低減、低粒子生成率、高信頼性を追及したものです。

  • 冷却効率でコンタミネーションフリーの設計
  • 材料はロッドまたはルツボ充填の選択
  • 標準搭載のフラックスモニタリングプレートにより精密な膜厚コントロールが可能
  • 1、4ポケットのタイプ 4ポケットタイプは各ポケットの独立制御で同時蒸着も可能なタイプ有り 
  • 数nmの薄膜作製、半導体ドーピング
Model EGN1  EGN4  EGCO4 
Pockets 1 4 4
Co-evaporation No No Yes
Mounting flange NW35CF
(70 mm / 2.75”)
NW35CF
(70 mm / 2.75”)
NW35CF
(70 mm 1/ 2.75”)
e-beam power 200 W 200 W 200 W
Water cooling Yes Yes Yes
In-vacuum length (standard) 200 mm 200 mm 200 mm
In-vacuum diameter 32 mm 34 mm 34 mm

製品に関するお問い合わせフォーム

フォームが表示されるまでしばらくお待ち下さい。

恐れ入りますが、しばらくお待ちいただいてもフォームが表示されない場合は、こちらまでお問い合わせください。


製品一覧へ戻る Oxford Applied Research社の製品一覧へ戻る