フォトリソグラフィー用フィルター

■共通仕様
Qの定義：Q（1/100）＝1％BW/FWHM
■特記事項
キャノン社向けの交換用パーツとして2種類のサイズの違うフィルターをI-lineにおいてご用意可能です
Diameter 124mm i-line filter OEM replacement part number BN-9-7269-000.
Diameter 165mm i-line filter OEM replacement part number BN-9-7513-000.
フィルタータイプバンドパス	中心波長	半値幅	ピーク透過率	Q(1/100)	温度最大値	平均ライフタイム

ASC i-lineフィルター	366 + 0.6nm	4 - 7nm	> 82%	2-3	125 C	> 10,000
ASC g-lineフィルター	436 + 0.8nm	6 - 9nm	> 82%	2-3	125 C	> 10,000

■共通仕様