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ミラクルテクノロジー社

ミラクルMEMSミラー

ジンバルレス 2軸高速スキャンMEMSミラーです。静電駆動方式により、~mWクラスの省電力を実現しました。
また、開発者向けに、MEMSミラー、ドライバ、レーザ、レンズ、マウントをセットにした、開発キットを準備しました。

ミラー単体での販売は行っておりません。
ただし、開発キットをご購入いただいた場合は、購入後1年間、ミラー単体での発注をお請けします。

Mirrorcle 2軸 MEMS ミラー 一覧表 詳細はこちら


  • 組込み型ミラーデバイス

    組込み型ミラーデバイス

    • ミラーサイズ:0.8, 1.2, 1.7 mm
    • 最大振角:±6°(Point-Point動作時)
           ±7°(レゾナントモード時)
  • 貼付け型ミラーデバイス

    貼付け型ミラーデバイス

    • ミラーサイズ:2.0, 2.4, 3.0, 3.6, 4.2 mm
      (大口径は受注生産)
    • 最大振角:±6°(Point-Point動作時)
           ±7°(レゾナントモード時)
ミラクルMEMSミラー
  • 小型・軽量
  • 高速
  • 省電力
  • 3D形状計測
  • プロジェクタ
  • ベクトルスキャン
  • ラスタースキャン
  • 3Dトラッキング
  • 顕微鏡
  • 内視鏡
  • OCT
  • レーザマーキング
ミラー表面粗さ < 10 nm rms
駆動電圧 0 ~ 140 V
曲面ミラー R > 5 m
ミラーコーティング アルミ or 金
ポジション再現性 < 0.0005°(<500マイクロ度)(室温にて)
動作温度 -40 ~ 125 ℃
許容レーザパワー 実績 1 W @2 mm(ミラーサイズ、波長により異なります)
レゾナント周波数 >3 kHz @小口径ミラー
>1.2 kHz @1.7 mmミラー

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