
更新日 2008/02/15
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紫外レーザ用バリアブルアッテネーター
157nmビームラインに挿入可能に設計されたチャンバー付バリアブルアッテネーターを製作しています。
モータコントロール、外部コントロール可能です。
ビーム入射出射部のフランジはDN40の規格で設計されています。
他にも193nm、248nm、308nm用のバリアブルアッテネーターも製作しています。

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紫外レーザ用ビームプロファイラー
メトロラックス社は157nmからのビームプロファイリングを可能にする装置を製作しています。
専用ビームプロファイラーソフトウェアはエキシマレーザのビーム評価機能に優れます。
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