深紫外ポラライザ
DUVM(DUV)シリーズは、深紫外266 nm 領域の波長
(245～285 nm)でのアプリケーションに向けて製作されています。可視域の光も透過します。
本製品は、10 nmピッチ程度の誘電体ナノワイヤーアレイで製作されています。
メタルにかわり誘電体ナノワイヤーを使用しており、非メタル構造は、優れた耐光強度を持ち、酸化などによるごみなどの発生を排除できるという特長を持ちます。
- 266nmの深紫外用のワイヤーグリッド式のポラライザです。
- 半導体のプロセス、レーザ加工などのアプリケーションにご使用になれます。
- 深紫外リソグラフィー
- 266 nm レーザ光学部品
- 半導体ウェハープロセス など
| 材質 | 合成石英 |
| 動作波長範囲 | 245 ～ 285 nm |
| 透過波面収差 | ≦ λ/2 |
| 面精度 | 40 ～ 20 Scratch & Dig |
| 平行度 | ≦ 5 arc min |
| 許容入射角 | 0°± 6° |
| 厚み | 1.0 mm typ. |
| 使用温度範囲 | -40℃ ～ +80℃ |
- 深紫外ポラライザ
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