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LUMERA LASER GmbH

高繰り返しピコ秒レーザ　HYPER RAPID 50

独国 LUMERA LASER社 RAPIDシリーズは産業用ピコ秒レーザです。ピコ秒パルス光の出力・発振周波数を制御することにより最適な条件で様々な形状の微細加工ができます。発振器はLD励起モードロックNd:YVO4レーザ（1064nm）であり、さらに増幅用LDを多段に組むことにより高出力を得ています。ナノ秒レーザより高精度の加工が可能であり、またフェムト秒レーザと比較すると信頼性が高く実用上取扱いが容易です。

波長：　1064nm　（オプション 532nm/355nm)
高繰り返し：　400～1000ｋＨｚ　（オプション 2000kHz）
高ビーム品質：　M²＜1.5
短パルス：　＜15ps
高品質なピコ秒パルスではフェムト秒と同等の加工可能

仕様

Repetition rate	Average power (W)
[kHz]	1064 nm	532 nm only	355 nm	532 nm
400	50	25	16	20
500	50	23	16	16
800	50	17	11	11
1000	50	14	8	9
2000	50	8	3	5
Repetition rate	Pulse energy (W)
[kHz]	1064 nm	532 nm only	355 nm	532 nm
400	125	63	40	50
500	100	46	32	32
800	63	21	14	14
1000	50	14	8	9
2000	25	4	2	3

Wavelength		1064 nm (532 nm and 355 nm optional)
Pulse Repetition rate		400～1000 kHz (optional up to 2000 kHz)
Spatial mode		TEM00 (M² < 1.5)
Pulse duration		< 15 ps
Pulse-to-pulse energy stability		< 1% RMS at 1000kHz
Average power stability over 8 h		< 1% RMS at 1000kHz
Polarization ratio		> 100 : 1
Beam divergence, full angle		< 1 mrad
Beam circularity		> 85%
Beam-pointing stability in full PRF range		< 50 µrad/℃
Electric supply		100～230 VAC / 50～60Hz / 2.5kW
Beam diameter		～3000 µm at 1064 nm
Bore-sight accuracy		± 0.5 mm and < 5 mrad
Warm-up time		< 20 min from cold start