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セルフキャリブレーショングレーティング

マイクログレーティング埋込型グレーティング

LightSmyth社では、新しいコンセプトのキャリブレーション機能搭載グレーティングを提供します。

この概念図、外観写真およびファーフィールドを下記に示します。メイングレーティングは従来の方法で使用されます。しかしながら、12セグメントのアライメント/キャリブレーショングレーティングにより、He-Neレーザなどのレファレンス光を照射することでメイングレーティングとは異なった位置にキャブレーションマーカを映し出します。

このマーカーはスペクトルキャリブレーションとしてのみならず、入射光の波面モニタやフォーカシング面の調整に使用できます。マーカーにより示唆されるメイングレーティングの波長は、入射光の入射角とは無関係にに独立しています。本質的に一つは、メイングーティングの出力平面をメイングレーティングとキャリブレーショングレーティングライン密度の比の差分比較によりのキャリブレーションします。

マイクログレーティング埋込型グレーティング

  • 単一光源によるマルチポイント波長リファレンス提供
  • 環境温度に依存しないキャリブレーション
  • 光学的配置や入射角に依存しないキャリブレーション
  • 広範囲の温度範囲や強い振動下で使用するリモートセンシングおよび分光
  • スペクトルラインの視認によるハンドヘルド分光器
  • 低コストで信頼性良く校正のされた分光器

下記の表は、傾斜有、傾斜無の製品の詳細です。1インチグレーティングは12個のアライメント/キャリブレーショングレーティングのフルセットを持っています。0.5インチグレーティングは6個のサブセットを持ちます。従って、アライメント/キャリブレーショングレーティングは6個のサブセットでも有効な情報が得られるようデザインされています。参照光の波長に合わせてマーカー波長を変更することなく、入射角ほぼ任意に選ぶことが可能です。

Grating  Primary  1 2 3 4 5 6
1st order marker 1, nm  n/a  400 500 600 700 800 900
Lines/mm (non-tilted)  1200 758.6 948.2 1137.7 1327.4 1517.2 1706.7
Lines/mm (tilted)  1200 760.6 949.8 1139.1 1328.6 1518.2 1707.6
Tilt angle, o  0 4.158 3.329 2.775 2.379 2.082 1.851
Grating  Primary  7 8 9 10 11 12
1st order marker 1, nm  n/a  500 550 600 650 700 750
Lines/mm (non-tilted)  1200 948.2 1043 1137.7 1232.6 1327.4 1422.2
Lines/mm (tilted)  1200 949.8 1044.4 1139.1 1233.9 1328.6 1423.3
Tilt angle, o  0 3.329 3.025 2.775 2.56 2.379 2.219

注1)マーカーの一次回折波長は、アライメント/キャリブレーショングレーティングからのHe-Neマーカーと同一の角度に着地する
   メイングレーティングから回折された波長と同一の波長です。アライメント/キャリブレーショングレーティングは高次の
   He-Neマーカーも発生します。この際、マーカー波長は次数を掛けたものになります。

Primary Grating
Line Density
alignment/calibration
gratings
orientation Size 3 Part number 2
1200 lines/mm 1-6 or 7-12 Non-tilt 12.5×12.5 mm CNG-C12-1212A-Al
1200 lines/mm 1-12 Non-tilt 25×25 mm CNG-C12-2525A-Al
1200 lines/mm 1-6 or 7-12 Tilt 12.5×12.5 mm CTG-C12-1212A-Al
1200 lines/mm 1-12 Tilt 25×25 mm CTG-C12-2525A-Al

注2)The standard reflective coating is Aluminum. Aluminum + MgF2 protective layer, Aluminum + Al2O3 protective layer,
   and gold coatings are available as an option.
注3)Typical grating thickness is approximately 0.73 mm. Substrate height and width tolerance is ± 0.3 mm.
   Grating composition: single crystal silicon, reactive ion etch, reflective metal coating.

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