セルフキャリブレーショングレーティング
マイクログレーティング埋込型グレーティング
LightSmyth社では、新しいコンセプトのキャリブレーション機能搭載グレーティングを提供します。
この概念図、外観写真およびファーフィールドを下記に示します。メイングレーティングは従来の方法で使用されます。しかしながら、12セグメントのアライメント/キャリブレーショングレーティングにより、He-Neレーザなどのレファレンス光を照射することでメイングレーティングとは異なった位置にキャブレーションマーカを映し出します。
このマーカーはスペクトルキャリブレーションとしてのみならず、入射光の波面モニターやフォーカシング面の調整に使用できます。マーカーにより示唆されるメイングレーティングの波長は、入射光の入射角とは無関係にに独立しています。本質的に一つは、メイングーティングの出力平面をメイングレーティングとキャリブレーショングレーティングライン密度の比の差分比較によりのキャリブレーションします。
- 単一光源によるマルチポイント波長リファレンス提供
- 環境温度に依存しないキャリブレーション
- 光学的配置や入射角に依存しないキャリブレーション
- 広範囲の温度範囲や強い振動下で使用するリモートセンシングおよび分光
- スペクトルラインの視認によるハンドヘルド分光器
- 低コストで信頼性良く校正のされた分光器
下記の表は、傾斜有、傾斜無の製品の詳細です。１インチグレーティングは12個のアライメント/キャリブレーショングレーティングのフルセットを持っています。0.5インチグレーティングは６個のサブセットを持ちます。従って、アライメント/キャリブレーショングレーティングは６個のサブセットでも有効な情報が得られるようデザインされています。参照光の波長に合わせてマーカー波長を変更することなく、入射角ほぼ任意に選ぶことが可能です。
| Grating | Primary | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 |
| 1st order marker 1, nm | n/a | 400 | 500 | 600 | 700 | 800 | 900 |
| Lines/mm (non-tilted) | 1200 | 758.6 | 948.2 | 1137.7 | 1327.4 | 1517.2 | 1706.7 |
| Lines/mm (tilted) | 1200 | 760.6 | 949.8 | 1139.1 | 1328.6 | 1518.2 | 1707.6 |
| Tilt angle, o | 0 | 4.158 | 3.329 | 2.775 | 2.379 | 2.082 | 1.851 |
| Grating | Primary | 7 | 8 | 9 | 10 | 11 | 12 |
| 1st order marker 1, nm | n/a | 500 | 550 | 600 | 650 | 700 | 750 |
| Lines/mm (non-tilted) | 1200 | 948.2 | 1043 | 1137.7 | 1232.6 | 1327.4 | 1422.2 |
| Lines/mm (tilted) | 1200 | 949.8 | 1044.4 | 1139.1 | 1233.9 | 1328.6 | 1423.3 |
| Tilt angle, o | 0 | 3.329 | 3.025 | 2.775 | 2.56 | 2.379 | 2.219 |
注１) マーカーの一次回折波長は、アライメント/キャリブレーショングレーティングからのHe-Neマーカーと同一の角度に着地するメイングレーティングから回折された波長と同一の波長です。アライメント/キャリブレーショングレーティングは高次のHe-Neマーカーも発生します。この際、マーカー波長は次数を掛けたものになります。
| Primary Grating Line Density |
alignment/calibration gratings |
orientation | Size 3 | Part number 2 |
| 1200 lines/mm | 1-6 or 7-12 | Non-tilt | 12.5×12.5 mm | CNG-C12-1212A-Al |
| 1200 lines/mm | 1-12 | Non-tilt | 25×25 mm | CNG-C12-2525A-Al |
| 1200 lines/mm | 1-6 or 7-12 | Tilt | 12.5×12.5 mm | CTG-C12-1212A-Al |
| 1200 lines/mm | 1-12 | Tilt | 25×25 mm | CTG-C12-2525A-Al |
注２）The standard reflective coating is Aluminum. Aluminum + MgF2 protective layer, Aluminum + Al2O3 protective layer,
and gold coatings are available as an option.
注３）Typical grating thickness is approximately 0.73 mm. Substrate height and width
tolerance is ± 0.3 mm. Grating composition: single crystal silicon, reactive ion etch, reflective metal coating.
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