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超精密光学素子

Gooch & Housego社 カリフォルニア事業所では、表面粗さ1オングストローム以下の平面や凹面を製造できるスーパーポリッシュ研磨法と反射率 99.99% 以上が実現できるイオンビームスパッタリング(IBS)方式等のコーティング技術を基にした高精度基板、高反射・低損失ミラー等を製品化しており、SiC基板研磨、サファイア基板研磨、リングレーザジャイロスコープフレーム(ブロック)、高性能エタロンを販売しています。

軍事・航空、半導体製造装置、度量衡などの精密測定機器、光通信用部品、レーザ用高性能部品、医療応用装置などの分野で利用頂いています。


平面基板、凹面基板

平面基板、凹面基板
  • 平面粗さ 1オングストローム以下
  • レーザ品質
     平面度 1/10λ
     スクラッチ&ディグ 10/5
  • コーティング材質 誘電体多層膜、金属薄膜
  • ご要求により、基板材質、基板サイズおよび開発試作にも対応致します。
  • Zygo社のヘテロダインプロファイラによる基板表面形状測定結果を添付した製品もあります(別途料金が必要です)。
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コーティングサービス

コーティングサービスG&H社が作成した平面基板や凹面基板に、お客様の仕様による高反射や低損失の薄膜をコーティングするサービスです。

コーティング機器として、イオンビームスパッタリング(IBS)、イオンアシストデポジション(IAD)、eビームコーティングなどの多数のチャンバーを有しており、低散乱 5ppm以下の低散乱、5ppm以下の低い吸収で直径12インチの基板上で1% 以下の均一な膜を得る事ができます。

蒸着膜の種類としては、TiO2、Ta2O5、HfO2、ZrO2、SiO2、Al2O3、Mgf2、Sc2O3、Nickel等でコーティングする物質としてはチタン、タンタル、ハフニウム、ジルコニウム、シリコン、シリコンカーバイド、アルミニウム、銀、クロムを用いています。

G&Hで行うコーティングの代表例としては 次の様なコーティングが可能です。


  • 低損失・高反射率コーティング
  • デュアルバンド 低損失・高反射率コーティング
  • 半透過膜、ビームスプリッターコーティング
  • ARコーティング 反射率 0.1% 以下
  • V型 ARコーティング 反射率 0.01% 以下
  • ブロードバンド ARコーティング
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SiC(シリコンカーバイド)基板研磨

SiC(シリコンカーバイド)基板研磨従来用いられていたベリリューム基板に代わるシリコンカーバイド(SiC)の基板の研磨ができます。
また研磨したSiC基板上に各種コーティングを行うサービスも致します。

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サファイア基板研磨

サファイア基板研磨通常研磨しづらいサファイア基板を、表面粗さ1オングストローム以下で研磨します。

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X線・シンクロトロン放射光用光学素子(ミラー)

X線・シンクロトロン放射用光学素子Siの長方形や楕円形状のミラーが作成可能です。
表面粗さは1オングストローム以下です。

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リングレーザジャイロスコープ(RLG)フレーム(ブロック)と光学素子

リングレーザジャイロスコープ(RLG)フレーム(ブロック)と光学素子低熱膨張材であるゼロデュアセラミックを用いたRLGのフレーム(ブロック)を製造しており、世界中でほとんどのRLGメーカがG&H社が製造したフレームを用いています。

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エタロン

エタロン1オングストローム以下の平面粗さが得られるスーパーポリッシング技術と磁気流体を用いた最終研磨法と波長掃引レーザを使用し、エタロン全面に渡り 2nm/mmより良い基板厚さの管理をしています。

エタロン表面のコーティングとしてはイオンビームスパッタ法により高密度で最小の表面ストレスの高反射膜(HR)や半透明膜(PR)を実現しており、CバンドやLバンドの代表的なHRとしては 99.998% より良い反射率を実現しております。

フリースペクトルレンジ(FSR)としてはITU規格に対応する 25GHz、50GHz、100GHz、200GHzのエタロンが供給可能です。またお客様のご要求により、FSRとして2GHzから300GHzのエタロンが製造可能です。

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