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LeNSCaN system
光学部品のポジション・ギャップ精密測定

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“LenScan” は、機器本体に光ファイバ型光学干渉計を使用した非接触のポジション・ギャップ精密測定システムです。

アッセンブルされた光学モジュール内部のそれぞれの光学部品厚み、位置の検出 / 測定を非破壊・非接触で行えるシステムです。

  • ±1µm の高精度位置、距離検出が可能
  • 最速 2 秒からの測定時間
  • 既存の計測システム内へのインテグレーション可能
  • 様々な光学部品の精密位置合わせ・アッセンブル時に威力を発揮

測定光が出射されるコリメータヘッドは非常に小さくコンパクトな形状なので、マウントを別途御準備頂くことで別の計測機器内部に搭載して使用が可能です。
スタンドアローンの研究用計測システムとしても、品質管理用のシステムとしても使用可能です。

  • 光学モジュールのアッセンブル時の精密調整
  • 各種光学部品の厚み測定、位置検出
  • 反射率が 1% 程度以上ある物体の精密位置検出
  • 組レンズ内、各レンズの中心厚み測定、合否判定
  Lenscan 40 Lenscan 200 Lenscan 600 Lenscan (+)600
ワークディスタンス 150 mm 250 mm 600 mm 600 mm
測定範囲 40 mm 200 mm 600 mm 600 mm
測定時間 < 2 s < 10 s < 30 s < 30 s
絶対位置精度 ± 1 µm ± 1 µm ± 1 µm ± 0.15 µm
測定チャンネル 最大 4ch
測定可能厚み > 30um in air

※予告なしに仕様が変更されることがあります。

機器本体に搭載された SLD 光源からの出力ビームを2つに分岐し、それぞれをリファランスミラーのあるリファランスパスとサンプルのある測定パスへと導きます。
この時、測定パスにあるサンプルの各界面ごとに発生した微弱な反射光がそれぞれ戻り光として光路を逆に辿ります。
リファランスパスのリファランスミラーをスキャンすると、測定パスから戻る微弱な反射が発生した界面と同距離になったところでビーム同士が干渉し合い、干渉シグナルが発生 / 検出されることになります。
本システムは、これらの干渉シグナルをキャッチし、高精密に位置検出を行うことができます。

測定原理 OFDR

ソフトウェア

① 実際のサンプルに合わせ、データベースから材料を選択
② 予測される距離と形状設定により、視覚的に形状を表示
③ 測定により得られた検出位置を表示
④ 測定結果を合否判定で表示

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