HOME取扱製品光源レーザEOLITE LASERS

CHINOOK
微細加工用1ピコ秒レーザ

微細加工用1ピコ秒レーザ CHINOOK


esi グループのEOLITE LASERS社(仏国)のCHINOOK は1ピコ秒を実現した
微細加工用短パルスレーザです。

1030nm、515nm、343nmの3種類を現在リリースしています。

カリフォルニア州フリーモントにあるアプリケーションラボへサンプルを送り
加工実験を行うことも可能です。

レーザ仕様
  Chinook IR50 Chinook G25 Chinook UV5
平均出力 25W@1MHz
50W @ 2MHz
>50W@3MHz 
12W@1MHz
25W@2MHz
>20W@3MHz 
5W@1MHz
繰り返し周波数 Single shot to
3 MHz 
Single shot to
3 MHz 
Single shot to
1 MHz 
パルスエネルギ 25 µJ up to
2 MHz 
12.5 µJ up to
2 MHz 
5µJ up to
2.5 MHz 
パルス幅 <1 ps
Typ 900 fs
<1 ps
Typ 800 fs
<1 ps
Typ 700~900 fs
M2  <1.2  <1.2  <1.3 
波長 1030 nm  515 nm  343 nm 
ビーム径 (1/e2 2 mm  2 mm  2 mm 
ビーム拡がり角 (半角)  0.4 mrad  0.2 mrad  0.1 mrad 
8h 平均出力安定性 (RMS 1σ)  2% 2% 4%
偏光 >99% linear  >99% linear  >99% linear 

Operating conditions
動作温度 15℃ ~ 35℃
湿度 RH < 90° non condensing

General characteristics
ヘッド外形寸法 (LH) 50kg
1084 x 250 x 150 mm (including cabling)
電源外形寸法 (CU) 35 kg
483 x 265 x 650 mm
動作電圧 100V / 240V
Supply frequency 50 / 60 Hz single phase
Max power consumption Max 1000 W
チラー仕様 Water 3 l/min, between 15℃ and 30℃
Temperature regulation +/-0.1℃
  900 W max. heat load
ケーブル長 (LH & CU間)  Length 5m
Synchronization Compatible with fast polygon scanners

グラフ

  • ウェハ加工
  • マイクロドリリング
  • 表面テクスチャリング
  • 透明体のカッティング
  • 薄膜アブレーション

製品に関するお問い合わせフォーム

フォームが表示されるまでしばらくお待ち下さい。

恐れ入りますが、しばらくお待ちいただいてもフォームが表示されない場合は、こちらまでお問い合わせください。

関連製品


製品一覧へ戻るEOLITE LASERS社の製品一覧へ戻る