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高精度ミラー

単結晶コーティング / 半導体スーパーミラー

高精度ミラー(単結晶コーティング / 半導体スーパーミラー)


[CMS 会社概要]

化合物半導体技術と高精度オプティクスの融合

Crystalline Mirror Solutions 社(オーストリア / スイス / USA)の主要技術は、
異種材料のダイレクトボンディングです。
半導体多層膜を光学コーティングに使い、ppm レベルで1桁台の光学損失のオプティクスを
製造します。理想的な材料に最高のミラーコーティングを施して、3つの利点を実現します。


  • ブラウニアンノイズ(ブラウンノイズ)が 10 分の 1
  • 熱伝導率が 30倍
  • 中赤外域(Mid-IR)での吸収が 10 分の 1

[コーティング及び製造技術]

分子ビームエピタキシー(Molecular Beam Epitaxy, MBE)を使い、高純度で低欠陥密度の
単結晶 GaAs / AlGaAs 多層膜をデポジットし、設計上の反射率が一般値で 99,99% 以上の
光学干渉コーティングを形成します。
近赤外域では、散乱と吸収による損失を 5ppm 未満におさえられます。
コーティングはあらゆる任意の形状へ精確に設定でき、ダイレクトボンディングの前駆体として
GaAs 成長ウエハから移されます。
ダイレクトボンディング法の経験とその蓄積によって、CMS 社は異なる素材を
中間層やはんだを使わず永久的に接合させることができます。
その結果は、理想的な基板上に、実現できる最高のミラーとなるのです。

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