HOME取扱製品オプティクスMEMS光素子BOSTON MICROMACHINES CORP.

MEMSデフォーマブルミラー

MEMS空間光変調器・ MEMSマイクロバルブ

MEMS光素子 応用例

BMC社(米国)のマイクロミラーアレイ素子
(MEMSデフォーマブルミラー)は、光学的に高品質な素子であるだけでなく高速・小型で信頼性の高い製品です。

Siプロセスで製造されたミラーメンブレン
(Poly-Si)が使用されています。

3種類のµDMの構造右図の様にミラーは2種類(連続ミラー型、ピストン型)あります。

ご用途により選択可能です。 高精細天文写真、長距離レーザ空間伝送・光通信、眼科用レフレクターや高精細眼底カメラなどに用いられています。

ミラーの形状・構成によりデフォーマブルミラー、空間光変調器、マイクロバルブとして動作します。

光学特性

  • 平坦度 30nmRMS
  • 高反射(アルミニウムもしくは金コーティング)

メカ特性

  • 最大ストローク:1.5µm、2.5µm、6.0µmの3種があります。(ミラーの素子数により異なります)
  • 分解能:フルスケールの1%以下(オプションにより 0.1%)
  • 応答特性:1Hz(高速バージョン 500Hz、1kHzがオプションで利用可能です。

アクチュエーター数

  • 32素子(µDMS-Mini)
  • 140素子(µDMS-Multi)
  • 1024素子(µDMS-Kilo)
  • カスタムデザイン(例: 4096素子)

詳しくはデータシートをご覧ください。

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