レーザ・ナノテクノロジー・バイオ・光通信
世界中の先端技術をオプトサイエンスがお届けします。

株式会社オプトサイエンスのホームページへ
HOME 広告掲載 個人情報について サイトマップ
取扱製品一覧へ取扱メーカー一覧へダウンロードサービスへお問い合わせフォームへニュース一覧へイベント一覧へ会社案内へ採用情報へENGLISH SITE
HOME取扱製品コンポーネントMEMS光素子>BOSTON MICROMACHINES CORP.
取扱製品一覧へ
ファイバーレーザ
レーザ光源
オプティクス

コンポーネント
AO/EO素子
液晶偏光素子
MEMS光素子
光学マウント、ステージ、
除振台

レーザ励起ランプ
レーザ保護メガネ
ハイパワー伝送ファイバ-
固体レーザ用キャビティ
スキャナー
特殊カメラ
真空部品
その他

ファイバーコンポーネント
光通信
流体測定
ラマン測定
計 測
分光・OCT
バイオ
自社開発製品

お問い合わせ 東京 tel:03-3356-1064 大阪 tel:06-6305-2064 名古屋 tel:052-569-6064

更新日 2008/07/25


Suppliers 取扱メーカー
 BOSTON MICROMACHINES CORP.
ボストンマイクロマシンズ社のホームページへ


MEMS光素子

MEMSデフォーマブルミラー・MEMS空間光変調器・MEMSマイクロバルブ

3種類のμDMの構造BMC社(米国)のマイクロミラーアレイ素子(MEMSデフォーマブルミラー)は、光学的に高品質な素子であるだけでなく高速・小型で信頼性の高い製品です。Siプロセスで製造されたミラーメンブレン(Poly-Si)が使用されています。

右図の様にミラーは3種類(連続ミラー型、ピストン型、連結セグメント型)あります。ご用途により選択可能です。

高精細天文写真、長距離レーザ空間伝送・光通信、眼科用レフレクターや高精細眼底カメラなどに用いられています。ミラーの形状・構成によりデフォーマブルミラー、空間光変調器、マイクロバルブとして動作します。





応用例

特 性 

光学特性 平坦度 30nmRMS
高反射(アルミニウムもしくは金コーティング)
メカ特性 最大ストローク:1.5μm、2.5μm、6.0μmの3種があります。(ミラーの素子数により異なります。)
分解能:フルスケールの1%以下(オプションにより 0.1%)
応答特性:1Hz(高速バージョン 500Hz、1kHzがオプションで利用可能です。
アクチュエーター数

32素子(μDMS-Mini)
140素子(μDMS-Multi)
1024素子(μDMS-Kilo)
カスタムデザイン(例: 4096素子)

詳しくは下記カタログをご覧下さい。

カタログ

ページトップへ