ＭＥＭＳ光素子
MEMSデフォーマブルミラー・MEMS空間光変調器・MEMSマイクロバルブ
BMC社(米国)のマイクロミラーアレイ素子（MEMSデフォーマブルミラー）は、光学的に高品質な素子であるだけでなく高速・小型で信頼性の高い製品です。
Ｓｉプロセスで製造されたミラーメンブレン（Poly-Si)が使用されています。
右図の様にミラーは2種類（連続ミラー型、ピストン型）あります。
ご用途により選択可能です。 高精細天文写真、長距離レーザ空間伝送・光通信、眼科用レフレクターや高精細眼底カメラなどに用いられています。
ミラーの形状・構成によりデフォーマブルミラー、空間光変調器、マイクロバルブとして動作します。
- 光学特性
- 平坦度 30nmRMS
- 高反射（アルミニウムもしくは金コーティング）
- メカ特性
- 最大ストローク：1.5µm、2.5µm、6.0µmの3種があります。（ミラーの素子数により異なります）
- 分解能：フルスケールの1%以下（オプションにより 0.1%）
- 応答特性：1Hz（高速バージョン 500Hz、1kHzがオプションで利用可能です。
- アクチュエーター数
- 32素子（µDMS-Mini）
- 140素子（µDMS-Multi）
- 1024素子（µDMS-Kilo）
- カスタムデザイン（例： 4096素子）
詳しくはカタログをご覧下さい。
- MEMSマイクロデフォーマブルミラー
81KB - デフォーマブルミラーの構造について 174KB
