更新日 2008/07/25
|
|
|
|
|
|
 |
|
ＭＥＭＳ光素子
MEMSデフォーマブルミラー・MEMS空間光変調器・MEMSマイクロバルブ
 BMC社(米国)のマイクロミラーアレイ素子（MEMSデフォーマブルミラー）は、光学的に高品質な素子であるだけでなく高速・小型で信頼性の高い製品です。Ｓｉプロセスで製造されたミラーメンブレン（Poly-Si)が使用されています。
右図の様にミラーは3種類（連続ミラー型、ピストン型、連結セグメント型）あります。ご用途により選択可能です。
高精細天文写真、長距離レーザ空間伝送・光通信、眼科用レフレクターや高精細眼底カメラなどに用いられています。ミラーの形状・構成によりデフォーマブルミラー、空間光変調器、マイクロバルブとして動作します。
 特 性
| 光学特性 |
平坦度 30nmRMS
高反射（アルミニウムもしくは金コーティング） |
| メカ特性 |
最大ストローク：1.5μm、2.5μm、6.0μmの3種があります。（ミラーの素子数により異なります。）
分解能：フルスケールの1%以下（オプションにより 0.1%）
応答特性：1Hz（高速バージョン 500Hz、1kHzがオプションで利用可能です。 |
| アクチュエーター数 |
32素子（μDMS-Mini）
140素子（μDMS-Multi）
1024素子（μDMS-Kilo）
カスタムデザイン（例： 4096素子）
|
詳しくは下記カタログをご覧下さい。
|
|
