MEMS光素子
MEMSデフォーマブルミラー・MEMS空間光変調器・MEMSマイクロバルブ

BMC社(米国)のマイクロミラーアレイ素子(MEMSデフォーマブルミラー)は、光学的に高品質な素子であるだけでなく高速・小型で信頼性の高い製品です。
Siプロセスで製造されたミラーメンブレン(Poly-Si)が使用されています。
右図の様にミラーは2種類(連続ミラー型、ピストン型)あります。
ご用途により選択可能です。 高精細天文写真、長距離レーザ空間伝送・光通信、眼科用レフレクターや高精細眼底カメラなどに用いられています。
ミラーの形状・構成によりデフォーマブルミラー、空間光変調器、マイクロバルブとして動作します。
- 光学特性
- 平坦度 30nmRMS
- 高反射(アルミニウムもしくは金コーティング)
- メカ特性
- 最大ストローク:1.5µm、2.5µm、6.0µmの3種があります。(ミラーの素子数により異なります)
- 分解能:フルスケールの1%以下(オプションにより 0.1%)
- 応答特性:1Hz(高速バージョン 500Hz、1kHzがオプションで利用可能です。
- アクチュエーター数
- 32素子(µDMS-Mini)
- 140素子(µDMS-Multi)
- 1024素子(µDMS-Kilo)
- カスタムデザイン(例: 4096素子)
詳しくはカタログをご覧下さい。
- MEMSマイクロデフォーマブルミラー
81KB - デフォーマブルミラーの構造について
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