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産業用空冷エキシマレーザ
ATLEX-I シリーズ

自動ガス交換! 冷却水不要! サイラトロン交換無し!

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  • F2 (157 nm), ArF (193 nm), KrF (248 nm),
    XeCl (308 nm), XeF (351 nm)
  • パルスエネルギ:1 mJ ~ 15 mJ
  • 平均パワー:0.2 W ~ 10 W
  • パルス繰返しレート:300 Hz ~ 1000 Hz
主たる応用

レーザ微細加工、レーザ分光、医療、FBG製作


  • オールソリッドステートスイッチ(サイラトロン不使用)
  • コロナ予備電離(OPEC)
  • メタル-セラミック チューブ

の採用により

高安定性 高信頼性 長寿命 優れたメンテナンス性

を実現した産業用空冷エキシマレーザです。

メタル・セラミックチャンバ / 248nm ビームプロファイル(ファーフィールド)

3種の安定化モード
  • igh Voltage:電圧安定化モード
  • Energy:パルスエネルギー安定化モード
  • ESP:部分ガス自動交換 エネルギー安定化モード

自動ガス交換 (要プリミックスガス、Heパージガス)

真空ポンプ + 4バルブシステム、ハロゲンガスフィルタを 内蔵し、
レーザ制御ユニットが自動でガス交換を行います。
但し、レーザ外に設置した、プリミックスガス、Heパージガスのバルブ操作、
ガス圧確認等は、PCに表示される画面に従って、ユーザ自身で行っていただきます。


オールソリッドステートスイッチ

サイラトロンを使用しない固体スイッチ回路の採用により、従来必要であった
サイラトロン交換の手間と費用を無くしました。


メタル-セラミックチューブ

レーザチューブは、ハロゲン・UV照射 耐性に優れたアルミ合金と、
高純度セラミックにより構成され、不純物ガスの発生を抑え、ガスを長寿命化し、
メタルシールとセラミック絶縁のフィードスルーにより、電気放電の信頼性を向上しています。


コロナ予備電離

主放電に先行したソフトコロナ予備電離により、均一で安定な主放電を実現し、
高効率なレーザ発振に寄与するとともに、主放電電圧を抑え、主放電電極の摩耗を低減し、
更には、レーザガス、レーザチューブを長寿命化しています。

ATL Lasertechnik エキシマレーザ 仕様一覧

  ATLEX-I ATLEX-FBG 単位
  F2 ArF KrF XeCl XeF ArF KrF  
波長 157 193 248 308 351 193 248 nm
最大パルスエネルギー * 1 10 15 8 7 10 15 mJ
最大平均出力 *
  ATLEX-300 0.2 2.4 4.0 2.0 1.7 2.4 4.0 W
  ATLEX-500 0.5 4.0 6.5 3.0 2.5 4.0 6.5 W
  ATLEX-1000 - 8.0 10.0 - - - - W
空間コヒレンス(鉛直方向) ** - - - - - >300 mm
最大繰返し周波数
  ATLEX-300 300 300 Hz
  ATLEX-500 500 500 Hz
  ATLEX-1000 1000 - Hz
パルス幅**  5 - 8  5 - 8 ns
ビームサイズ(V×H) 4 × 6 4 × 6 mm
ビム拡がり角(V×H)  1 × 2  1 × 2 mrad
エネルギ安定性(標準偏差) < 3 < 3 %
寸法(L×W×H) 540 × 470 × 370 mm
重量 60 kg
冷却 空冷  
電源容量 230 VAC / 6.3 A / 50-60 Hz / 単相  

* 低繰返しにおいて。安定化モード時、出力エネルギー・パワーともに10%減
** 典型値。FWHM。

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