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リニアステージ

LS-シリーズ リニアステージ

LS-シリーズ リニアステージ

  • クローズドループDCサーボモータとロータリ・エンコーダとの組み合わせにより、サブミクロンオーダの精度を精度をもつリニアステージです。
  • リミットスイッチ内蔵 ・リードスクリュのネジピッチを選択できます。
主な仕様
Lead Screw Pitch Options Rotary Encoder Resolution Maximum Speed
25.40 mm (Ultra-coarse) 88 nm 28 mm/sec
12.70 mm (Super-coarse) 44 nm 14 mm/sec
6.35 mm (Standard) 22 nm 7 mm/sec
1.59 mm (Fine) 5.5 nm 1.75 mm/sec
0.635 mm (Extra-fine) 2.2 nm 0.7 mm/sec
Specifications LS-50 LS-100 LS-200
Resolution < 0.1 µm
with Linear Encoder* 10 nm
RMS repeatability (typical) < 0.7 µm
with Linear Encoder* (typical) 200 nm
Accuracy 0.25 µm per mm
with Linear Encoder* ± 3 µm per length of scale
Maximum velocity 7 mm/sec
Range of travel 50 mm (2″) 100 mm (4″) 200 mm (8″)
Length 152.5 mm (6″) 203.5 mm (8″) 305 mm (12″)
including connector 181 mm (7 1/8″) 232 mm (9 1/8″) 333.5 mm (13 1/8″)
Width 69 mm (2 ¾”)
including top plate* 102 mm (4″)
Height 35.5 mm (1.4″)
including top plate* 45 mm (1 ¾”)
Weight 1.4 kg (3 lbs) 1.9 kg (4 lbs) 2.4 kg (6 lbs)

* Shown with rotary encoder and 6.35 mm pitch lead screw
** Linear Encoder Option requires installation of the top plate

データシート

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