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大型ステージ

XYZ自動ガントリ・ステージ

XYZ自動ガントリ・ステージ

  • 自動ガントリ・ステージは、移動距離380mm(15インチ)のXYステージと、移動距離100mmの移動距離をもつ大型のステージです。
  • XYステージの分解能は、3µm以下、Z方向の分解能は、0.1µm以下です。
  • オートフォーカス、オートズームを持カメラや、ビデオ顕微鏡により構成するカスタマイズが可能です。
主な仕様
XY axis range of travel 380 mm x 380 mm (15” x 15”)
XY axis resolution < 3 µm
XY axis RMS repeatability (typical) < 5 µm
XY axis maximum velocity 100 mm/sec
Z axis range of travel (typical) 100 mm (4”)
Z axis resolution (encoder step) 22 nm
Z axis RMS repeatability (typical) < 700 nm
Z axis maximum velocity 7 mm/sec

shown with standard 6.35 mm pitch lead screws

Lead Screw Pitch Options Rotary Encoder Resolution Maximum Speed (Dynamic range = 400)
  XY Z XY Z
25.40 mm (Ultra-coarse) N/A 88 nm N/A 28 mm/sec
12.70 mm (Super-coarse) 1680 nm 44 nm 200 mm/sec 14 mm/sec
6.35 mm (Standard) 840 nm 22 nm 100 mm/sec 7 mm/sec
1.59 mm (Fine) 210 nm 5.5 nm 25 mm/sec 1.75 mm/sec
データシート

MS-8000 XY自動ステージ

MS-8000 XY自動ステージ

  • MS-8000は、大型検査顕微鏡(ニコン L200/300、オリンパス MX51/61)用途のステージとして最適なステージです。
  • 開口部のあるフレームは、透過照明に使用可能です。
  • ガラスプレートインサート、多種の大型のステージ・インサート、半導体検査用の真空ウェハチャックの使用が可能です。
  • サイズ:346×346×45.5mm
主な仕様

Lead Screw Options with 141:1 Anti-Backlash Gear-Head Motors

Lead Screw Pitch Option Encoder Resolution Maximum Speed Repeatability
1/4″ 22 nm 6.4 mm/sec 0.8 µm
1/2″ 44 nm 12 mm/sec 1.6 µm
1″ 88 nm 24 mm/sec 3.5 µm

Lead Screw Options with 3.7:1 Gear Head Motors

Lead Screw Pitch Option Encoder Resolution Maximum Speed Repeatability
1/16″ 210 nm 30 mm/sec 4.5 µm
1/4″ 0.84 µm 120 mm/sec 8.0 µm
1/2″ 1.7 µm 240 mm/sec 15.0 µm

Linear Encoder Options

Axis Resolution Scale Accuracy
XY 10 nm, 20 nm, or 50nm ± 3 µm per length of scale
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MX-2000 顕微鏡移動ステージ


MX-2000 顕微鏡移動ステージ

X-2000は、ASIの実績のあるDCサーボモータ・コントロールエレクトロニクスと、Z軸フォーカシングドライブを組み合わせた顕微鏡移動ステージです。

MX-2000は、顕微鏡をXY軸に、リモートに移動させるXYZ軸移動プラットフォームとして設計されています。

主な仕様
XY axis translation distance 25 mm
Z axis translation distance Range of microscope focus
Resolution 100 nm
Repeatability with ASI Backlash Algorithm < 400 nm
Repeatability without ASI Backlash Algorithm > 1.5 µm
Maximum velocity 0.6 mm/sec
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ウェハー検査システム


  • ウェハー検査、マッピングその他アプリケーション用に設計されています。
    •  精密モーションコントロール、精密位置決め
    • ウェハハンドリング、顕微鏡、マイクロマニュピレーションを含む自動化
    • オートフォーカス
    • 蛍光顕微鏡
    • シリコン基板上の残留UVまたは、I-線用のフォトレジスト検出するための紫外線を含む照明コントロール
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