倒立顕微鏡用ステージ
- MS-2000は、顕微鏡ステージのX,Y位置をコントロールすることにより高分解能、高精度の自動化ステージです。
【主な仕様】
| XY axis range of travel | 114 mm x 75 mm |
| XY axis resolution (encoder step) | 22 nm |
| XY axis RMS repeatability | < 700 nm |
| XY axis maximum velocity | 7 mm /sec |
| Z axis resolution (encoder step) | 50 nm |
| Z axis repeatability | ± 100 nm |
| Z axis maximum velocity | 0.6 mm /sec |
*shown with 6.35 mm pitch Lead Screws
【データシート】
- MS-2500は、X軸250mm、Y軸100mmの移動距離を持つステージです。
- この長移動距離を持つステージは、ロボットローディング機構に最適です。
- 標準160×110または、283×110のステージインサートが使用可能です。
【主な仕様】
| XY axis range of travel | 100 mm x 250 mm (4″ x 10″) |
| XY axis resolution | 22 nm (typical) |
| XY axis RMS repeatability | < 700 nm (typical) |
| XY axis maximum velocity | 7 mm/sec |
*shown with 6.35 mm pitch Lead Screws
【データシート】
PZ-2150 ピエゾZ軸トッププレート付きXYZ自動ステージ
- PZ-2150は、顕微鏡ステージのX,Y,Z位置をコントロールすることにより高分解能、高精度を実現した自動化ステージです。
- XYステージは、クロスローラスライド、精密リードスクリュ、バックラッシュのないギアDCサーボモータを使用していますので、移動がスムースで正確です。
【主な仕様】
| Y axis range of travel | 120 mm x 110 mm |
| XY axis resolution (encoder step) | 0.088 µm |
| XY axis lead screw accuracy | 0.25 µ/mm |
| XY axis RMS repeatability | < 0.7 µm |
| XY axis maximum velocity | 7 mm/sec |
【データシート】
PZM-2000 ピエゾZ軸トッププレート付きOEM手動ステージ
- PZM-2000は、XYステージをマニュアルで動かし、Z軸のポジショニングを自動化する場合に使用するステージです。
- PZM-2000は、現在ご使用中のステージの内部にマウントされるピエゾトッププレートから構成されています。
- お客様が現在使用中のステージをPZM-2000と交換することが可能です。
- ピエゾ式トッププレートは、スライドガラス、ペトリディッシュ、マルチウェルプレートを使用できるKサイズのステージ・インサートを搭載できます。
【主な仕様】
| XY axis range of travel | Standard OEM Stage |
| Z axis range of travel (± 5%) | 150 µm, 300 µm (100 µm & 200 µm versions optional) |
| Z axis resolution | 1.5 nm |
| Z axis repeatability | ± 1 nm |
| Z axis maximum velocity with settling time | 5 mm/sec（～ 10 ms per move) |
| Z axis resonant frequency (unloaded) | > 1 KHz |
| Z axis top plate maximum load | 500 grams |
| Z axis top plate stiffness (± 20%) | 3 N/µm |
| Z axis top plate in-plane tilt (typical) | 10 µrad |
【データシート】
- ASIが提供するすべてのサーボモータステージには、顕微鏡の微動フォーカスシャフトか、XYステージのリードネジを駆動するモータシャフトの位置のどちらかをモニタするロータリ・エンコーダが装備されています。
- これらのロータリーエンコーダは、バックラッシュアルゴリズムにより、動作しますが、全体的の位置決め精度および、反復精度はリニア・エンコーダを使用することによって増加します。
Z軸リニアエンコーダオプション：ステージ位置のモニタ
微動フォーカスシャフトをモニタする標準ロータリエンコーダ
XYリニアステージエンコーダオプション：リードスクリュをドライブするモータシャフトの位置をモニタ
【データシート】
- リニアエンコーダ・オプション
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