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倒立顕微鏡用ステージ

MS-2000 フラットトップXYZ自動ステージ

MS-2000 フラットトップ XYZ 自動ステージ

  • MS-2000は、顕微鏡ステージのX,Y位置をコントロールすることにより高分解能、高精度の自動化ステージです。

[主な仕様]

XY axis range of travel 114 mm x 75 mm
XY axis resolution (encoder step) 22 nm
XY axis RMS repeatability < 700 nm
XY axis maximum velocity 7 mm /sec
Z axis resolution (encoder step) 50 nm
Z axis repeatability ± 100 nm
Z axis maximum velocity 0.6 mm /sec

*shown with 6.35 mm pitch Lead Screws

[データシート]

MS-2500 XYフラットトップ拡大移動ステージ

MS-2500 XY フラットトップ 拡大移動ステージ

  • MS-2500は、X軸250mm、Y軸100mmの移動距離を持つステージです。
  • この長移動距離を持つステージは、ロボットローディング機構に最適です。
  • 標準160×110または、283×110のステージインサートが使用可能です。

[主な仕様]

XY axis range of travel 100 mm x 250 mm (4″ x 10″)
XY axis resolution 22 nm (typical)
XY axis RMS repeatability < 700 nm (typical)
XY axis maximum velocity 7 mm/sec

*shown with 6.35 mm pitch Lead Screws

[データシート]

PZ-2150 ピエゾZ軸トッププレート付きXYZ自動ステージ

PZ-2150 ピエゾZ軸トッププレート付きXYZ自動ステージ

  • PZ-2150は、顕微鏡ステージのX,Y,Z位置をコントロールすることにより高分解能、高精度を実現した自動化ステージです。
  • XYステージは、クロスローラスライド、精密リードスクリュ、バックラッシュのないギアDCサーボモータを使用していますので、移動がスムースで正確です。

[主な仕様]

Y axis range of travel 120 mm x 110 mm
XY axis resolution (encoder step) 0.088 µm
XY axis lead screw accuracy 0.25 µ/mm
XY axis RMS repeatability < 0.7 µm
XY axis maximum velocity 7 mm/sec

[データシート]

PZM-2000 ピエゾZ軸トッププレート付きOEM手動ステージ

MS-2000 フラットトップ XYZ 自動ステージ

  • PZM-2000は、XYステージをマニュアルで動かし、Z軸のポジショニングを自動化する場合に使用するステージです。
  • PZM-2000は、現在ご使用中のステージの内部にマウントされるピエゾトッププレートから構成されています。
  • お客様が現在使用中のステージをPZM-2000と交換することが可能です。
  • ピエゾ式トッププレートは、スライドガラス、ペトリディッシュ、マルチウェルプレートを使用できるKサイズのステージ・インサートを搭載できます。

[主な仕様]

XY axis range of travel Standard OEM Stage
Z axis range of travel (± 5%) 150 µm, 300 µm (100 µm & 200 µm versions optional)
Z axis resolution 1.5 nm
Z axis repeatability ± 1 nm
Z axis maximum velocity with settling time 5 mm/sec(~ 10 ms per move)
Z axis resonant frequency (unloaded) > 1 KHz
Z axis top plate maximum load 500 grams
Z axis top plate stiffness (± 20%) 3 N/µm
Z axis top plate in-plane tilt (typical) 10 µrad

[データシート]

リニアエンコーダ・オプション


  • ASIが提供するすべてのサーボモータステージには、顕微鏡の微動フォーカスシャフトか、XYステージのリードネジを駆動するモータシャフトの位置のどちらかをモニタするロータリ・エンコーダが装備されています。
  • これらのロータリーエンコーダは、バックラッシュアルゴリズムにより、動作しますが、全体的の位置決め精度および、反復精度はリニア・エンコーダを使用することによって増加します。
  • Z軸リニアエンコーダオプション:ステージ位置のモニタ

    Z軸リニアエンコーダオプション:ステージ位置のモニタ

  • 微動フォーカスシャフトをモニタする標準ロータリエンコーダ

    微動フォーカスシャフトをモニタする標準ロータリエンコーダ

  • XYリニアステージエンコーダオプション:リードスクリュをドライブするモータシャフトの位置をモニタ

    XYリニアステージエンコーダオプション:リードスクリュをドライブするモータシャフトの位置をモニタ

[データシート]

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