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更新日 2008/05/12

Suppliers 取扱メーカー
 AEROTECH, INC.
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 エアロテック社(米国) 製品ピックアップ
6軸ナノポジショナー ファイバーアライメントシステム


非接触ダイレクトドライブのリニアモーターを使用した高精度位置決めステージを提供しています。

FiberMax
カタログ



FiberMax™ 6軸ナノポジショナー

FiberMax™X-Z-Y-T-P-R


光軸の高さ: 206mmまたは168mm
長さ×幅×高さ: 224mm×150mm×206mmまたは168mm
移動距離: 25mm×25mm×4mm×20°×20°×20°
分解能: XZ:10nm、Y:2nm、T、P、R:0.05秒
再現性: ±50nm
速度: XZ:250mm/秒、Y:50mm/秒、T,PまたはR:270°/秒
T=Y軸を中心とする回転(ヨー)
P=X軸を中心とする回転(ピッチ)
R=Z軸を中心とする回転(ロール)
ANT-25L XYZ 自動光軸調芯装置
ANT-25L XYZ
特許申請中
自動光軸調芯装置

長さ×幅×高さ 100mm×100mm×229mm
移動距離 25mm×25mm×25mm
分解能 10nmXYZ(100Å)
再現性 ±50nm
負 荷 5kg
速 度 XY:250mm/秒、Z:100mm/秒

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ファイバーアライメントシステム

FiberAlign™ 130シリーズ

Aerotech社のFiberAlign 130は光ファイバーのアライメントにおける大きな進歩です。FiberAlign 130は、ファイバーとファイバー、ファイバーとレーザダイオード、ファイバーと導波路のアライメントの厳しいニーズに応えるために設計された、世界最高の性能を誇るファイバーアライメントシステムです。

自動生産

アライメントの精度とデバイスの容量が増加するにしたがって、精密で、信頼性・再現性の高い動作システムの重要性がますます高まっています。FiberAlign 130は、Aerotech社がお届けする最新の高精度生産動作システムです。OEM市場における長年にわたる経験を生かした本システムは、週7日、1日24時間の稼動が可能です。FiberAlign 130のリニアモーター駆動方式は非接触型です。すなわち、保守が不要で、磨耗する部品もないということです。ネジ式システムとは異なり、ステージの性能は経時変化がないため、低メンテナンスのフルスケール生産に理想的なソリューションです。

ダイレクトドライブ

精密機器の大量生産に必要な頑丈で、正確な高速位置決めを実現できるのはリニアモーター駆動だけです。FiberAlign 130は、駆動要素として中央駆動式のコギングのないリニアモーターを使用しています。リニアモーターは、FiberAlign 130をより高速・高加速で駆動します。同時に、ミクロン未満の精度と再現性を維持するため、ネジ式またはピエゾ式のシステムよりも大幅なスループットの向上となります。

リニアモーターはダイレクトドライブ機器のため、親ねじやボールネジで通常生じるようなガタつき、巻き込み、摩擦などは生じません。その結果、ステージシステムは、競合技術よりも小型で、繰り返しステップ数を多くできます。

高分解能

アライメント用途では、優れたステップごとの分解能が不可欠です。FiberAlign 130は20nmの分解能でこのニーズに応えます。ダイレクトドライブ式リニアモーターでは摩擦が生じないため、ALS130は、必要とされる正確で細かい分解能ステップを取ることができます。

サーチアルゴリズム

包括的なソフトウェアのツールキットで、一般的に使用されている機能を簡単に利用できます。パワーメーター入力からの勾配、ラスタ、方形、円形螺旋走査などのアライメント機能は標準機能で簡単に実行できます。自動ツールに加え、ジョイスティックと画面上のジョグ制御が手動で操作できます。

20nmの分解能

非接触リニアモーター駆動
極めて低騒音のリニアサーボ駆動
ターンキードライブと制御電子系統
ダイレクトドライブ回転軸が利用可能
ラスタ、螺旋、パワーピークアルゴリズム
業界標準のパワーメーターとのインターフェース
一体型ビジョンシステムオプション

Aerotech社の利点

Aerotech社は工業用用途において世界ナンバーワンです。Aerotech社製品は世界中の精密生産施設で完璧に作動しています。

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FiberAlign 130シリーズ 仕様

FiberAlign™ 130(X、Y、Zステージ)(qおよびf軸は未記載)
パワーメーター  U500/DR300またはU511 ソフトウェア ジョイスティック ビジョンシステム
システムコンポーネントの相互作用

正確で再現性に優れたステップ動作を実現するのはダイレクトドライブ式リニアモーターだけです。
螺旋および方形走査ルーチンを高度なログ機能と組み合わせ、パワフルなアライメントステーションを構築します。
専用の勾配アルゴリズムでパワーピークが迅速かつ簡単になります。

Aerotech社のパワフルなソフトウェアのセットは、部品のローディング、アライメント、分析で威力を発揮する広範なビジョンユーティリティを含んでいます。

基本型式

総移動距離
駆動システム リニアブラシレスサーボモーター、BLMUC-95-A
フィードバック 非接触型リニアエンコーダ
分解能
最高移動速度
最高荷重
精度
二方向再現性
真直度・平面度
ピッチ
偏揺
直交性
材質 アルミ
仕上げ 黒色陽極処理
コントローラ PCバス UNIDEX 500 PCI、DR300およびアンプ(AS3005)付き
スタンドアロン UNIDEX 511、一体型アンプ(AS3005)付き

標準モーター情報

種類  型式  アンプ  バス  アンペア数  ケーブル  ドライバ リニアブラシレスサーボ

ファイバーとファイバー

ファイバーと導波路
ファイバとーレーザダイオード

寸 法

移動距離:
中心線からZテーブル面(CL to Z table face)
1/4-20ネジ穴(15カ所)
外側ステージ取付穴
予想最大寸法
ステージ取付用間隙(4カ所)
予想最大寸法
寸法:mm [インチ]

FiberAlign 130(50×50×25mmの移動距離):他の移動距離も選択可能
垂直軸空気つりあいおもり用の空気供給が必要です。

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FiberAlignTM 130シリーズ 発注情報

発注例

低軸移動距離(mm) 中軸移動距離(mm) 垂直軸移動距離(mm)
シータ軸 コントローラプラットフォーム ビジョンシステム

FiberAlign 130シリーズファイバーポジショナ

FA130 リニアモーター、リニアエンコーダベースのファイバーポジショナ。SYZ軸は、直交性5アーク秒に調整。
注:垂直軸空気つりあいおもり用の空気供給が必要です。

リニアステージの移動距離

移動距離25mm(1インチ)ステージ(垂直軸のみ)
移動距離50mm(2インチ)ステージ(水平軸のみ)
移動距離100mm(4インチ)ステージ(水平軸のみ)
移動距離150mm(6インチ)ステージ(水平軸のみ)

コントローラプラットフォーム

PCバスベースコントローラ、DR300シリーズ駆動シャーシおよび一体型アンプ(AS3005)付き
スタンドアロン型コントローラ、RS-232、IEEE-488またはフロントパネルインターフェース、および一体型アンプ (AS3005)付き
注:「x」で入力電圧を指定してください(115VAC:-A、230VAC:-B)。

回転ステージ

回転ステージ、回転動作
回転ステージ、ピッチ動作
回転ステージ、偏揺動作

ビジョンシステム

2軸ビジョンシステム、統合制御ソフトウェア付き

Aerotech社は広範な社内設計・製造能力を誇っています。すべての製品について特注のセットアップが可能です。

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