高精度位置決めステージ

アライメントの精度とデバイスの容量が増加するにしたがって、精密で、信頼性・再現性の高い動作システムの重要性がますます高まっています。

FiberAlign 130は、Aerotech社がお届けする最新の高精度生産動作システムです。
OEM市場における長年にわたる経験を生かした本システムは、週7日、1日24時間の稼動が可能です。FiberAlign 130のリニアモーター駆動方式は非接触型です。
すなわち、保守が不要で、磨耗する部品もないということです。

ネジ式システムとは異なり、ステージの性能は経時変化がないため、低メンテナンスのフルスケール生産に理想的なソリューションです。

精密機器の大量生産に必要な頑丈で、正確な高速位置決めを実現できるのはリニアモーター駆動だけです。

FiberAlign 130は、駆動要素として中央駆動式のコギングのないリニアモーターを使用しています。
リニアモーターは、FiberAlign 130をより高速・高加速で駆動します。
同時に、ミクロン未満の精度と再現性を維持するため、ネジ式またはピエゾ式のシステムよりも大幅なスループットの向上となります。

リニアモーターはダイレクトドライブ機器のため、親ねじやボールネジで通常生じるようなガタつき、巻き込み、摩擦などは生じません。その結果、ステージシステムは、競合技術よりも小型で、繰り返しステップ数を多くできます。

アライメント用途では、優れたステップごとの分解能が不可欠です。

FiberAlign 130は20nmの分解能でこのニーズに応えます。

ダイレクトドライブ式リニアモーターでは摩擦が生じないため、ALS130は、必要とされる正確で細かい分解能ステップを取ることができます。

包括的なソフトウェアのツールキットで、一般的に使用されている機能を簡単に利用できます。

パワーメーター入力からの勾配、ラスタ、方形、円形螺旋走査などのアライメント機能は標準機能で簡単に実行できます。

自動ツールに加え、ジョイスティックと画面上のジョグ制御が手動で操作できます。

• 非接触リニアモーター駆動
• 極めて低騒音のリニアサーボ駆動
• ターンキードライブと制御電子系統
• ダイレクトドライブ回転軸が利用可能
• ラスタ、螺旋、パワーピークアルゴリズム
• 業界標準のパワーメーターとのインターフェース
• 一体型ビジョンシステムオプション

Aerotech社は工業用用途において世界ナンバーワンです。

Aerotech社製品は世界中の精密生産施設で完璧に作動しています。

オプトメカニクス

• 光学ホルダー・マウント

• ステージ・除振台・光学テーブル

• 固体レーザ用キャビティ

• チラー

• 真空部品

• ラボサプライ