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更新日　2008/05/26

Ｘ-ｒａｙ ・ ＥＵＶ　

 X-ray・ＥＵＶ
　ＥＵＶ

■　テーブルトップＥＵＶ光源　[Laser-Laboratorium Gottingen社]
■　ＥＵＶ　Schwarzschild　対物鏡　[Laser-Laboratorium Gottingen社]
■　軟X線、EUV用 多層膜オプティクス　[Fraunhofer IOF社]
■　高温用多層膜オプティクス　[Fraunhofer IOF社]
■　EUV用結像光学系および集光オプティクス　[Fraunhofer IOF社]
■　EUV領域のSchwarzschild対物鏡　[Fraunhofer IOF社]
■　ＥＵＶブロードバンドミラー　[Fraunhofer IOF社]
■　ＥＵＶナローバンドミラー　[Fraunhofer IOF社]
■　35nm〜50nm領域用Sc/Si多層膜オプティクス　[Fraunhofer IOF社]


　Ｘ−ｒａｙ

■　軟X線、EUV用 多層膜オプティクス　[Fraunhofer IOF社]
■　軟Ｘ線用 Cr/Sc多層膜ミラー　[Fraunhofer IOF社]
■　X線用キャピラリレンズ　[X-Ray Optical Systems社]
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